P16.XY100二维XY向小体积压电纳米定位台±40μm 中孔ф20mm当前位置：产品首页 >> 二维中空式压电扫描台>>P16.XY100二维XY向小体积压电纳米定位台±40μm 中孔ф20mm

产品介绍
应用
价格及周期
意见反馈

P16 系列小体积压电纳米定位台为 XY 轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心具有通孔，该系列扫描台行程可达 80μm，开环、闭环可选。方形移动台面，便于与外部机械结构安装连接。

P16.XY100为二维XY轴小体积压电纳米定位台，运动范围为±40μm/轴，产品结构紧凑，中心大透光孔，适合于显微及扫描中的样品定位。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品可实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间。

产品特点

二维XY向运动	行程±40μm/轴	承载1.5kg	台体中心圆形通孔，孔径为Φ20mm
闭环重复定位精度高	开/闭环可选	真空版本可选

外观形状

产品运动示意图

台体采用机构放大式驱动设计，行程范围大

刚度大、谐振频率高、负载能力大

P16 系列压电扫描台，采用机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，扫描台分别可实现 50μm、80μm 的运动行程，一体式结构设计 XY 轴运动无耦合，优异的结构可承载 1.5kg 的负载，空载谐振频率达 700Hz。
P16.XY100 版本为中心对称运动方式，需配套带有一通道恒压的三通道压电控制器。

平稳和准确的扫描圆形驱动

精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。

应用实例-镜架二维XY调节

P16.XY二维压电扫描台以其大承载、高频率等特点，应用于光路调整实验中，带载大镜架做XY轴精密运动。

位移与电压曲线

谐振频率与负载曲线

线性度曲线

产品应用

图像处理与稳定	精密定位	光学捕获	扫描显微
干涉/计量	半导体测试	表面检测	光学计量
光学显微成像	SPM扫描显微	掩模/晶圆定位	生物技术

P16全系列产品


P16.XY50二维 50μm/轴运动范围	P16.XY80二维 ±40μm/轴运动范围	P16.XY100二维 ±40μm/轴运动范围

技术参数
型号	尾缀S-闭环	P16.XY100S	P16.XY100K	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		X、Y	X、Y
运动和定位
驱动控制		3 路驱动，2路传感	3 路驱动
标称行程范围（0~100V）		±33/轴	±33/轴	µm/轴±10%
Max.行程范围（0~120V）		±40/轴	±40/轴	µm/轴±10%
传感器类型		SGS	-
通孔尺寸		Ø20	Ø20	mm
分辨率		2.5	1	nm，typ.
闭环线性度		1	-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.5	-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<25	<25	µrad
机械性能
运动方向推/拉力		30/30	30/30	N
运动方向刚度		X0.5/Y0.5	X0.5/Y0.5	N/µm±20%
空载谐振频率		600	600	Hz±20%
空载阶跃时间		10	1.6	ms±20%
承载能力	水平安装	1.5	1.5	Kg
	立式安装	0.4	0.4
	倒置安装	1.5	1.5
驱动性能
静电容量		3.6	3.6	μF/轴±20%
其他
材质		钢、铝	钢、铝
重量		220	220	g±5%

** 可定制低温版本及高真空版本。

***连接器可定制。

注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。

注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。

安装方向	水平安装	立式安装	倒置安装
释义	将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT 平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向	将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载	将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方
示意图
备注	当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口

尺寸图 (点击图片可放大查看)

尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual

应用案例

笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻