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P17.XY15K压电纳米定位台为XY轴平移扫描台，采用XY轴一体式结构设计压电陶瓷直驱机构，中心具有通孔尺寸为25×27.5mm，产品体 积小巧、性能稳定，N65系列扫描台为开环版本、动态性好，适用于动态扫描应用领域。
P17.XY15K压电纳米定位台是基于光学扫描应用而开发设计的，具有较高的谐振频率，采用小巧的结构设计，配以合适的透光孔，适合光学系统相关应用。
产品特点
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产品运动示意图 
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台体采用直驱式机构设计，响应速度快 
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满幅值阶跃时间图 
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刚度大、分辨率高、谐振频率高
P17.XY15系列压电扫描台，采用压电陶瓷直驱机构设计，内置高性能压电陶瓷，产品体积小巧、结构紧凑，台面四角配有通孔，便于集成与安装。 |
谐振频率与负载曲线 
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位移与电压曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
尾缀K-开环 |
P17.XY15K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y |
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驱动控制 |
2路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
12 |
µm/轴±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
15 |
µm/轴±10% |
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通孔尺寸 |
25×27.5 |
mm |
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开环分辨率 |
0.2 |
nm，typ. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<5 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
30/3 |
N |
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运动方向刚度 |
X3/Y3 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
X1/Y1 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
1.5 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
0.2 |
Kg |
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立式安装 |
0.05 | ||
| 倒置安装 | 0.2 | ||
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驱动性能 |
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静电容量 |
0.7 |
μF/轴±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
57.91×52×10 |
mm |
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重量 |
55 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
