型号

P15.XY100S-C1

P15.XY100K-C1

单位

运动自由度

X、Y

X、Y

驱动控制

2路驱动

2路驱动

标称行程范围（0~120V）

80/轴

80/轴

μm±10%

行程范围（0~150V）

100/轴

100/轴

μm±10%

传感器类型

SGS

-

通孔尺寸

66×66

66×66

mm

外形尺寸

150×150×30

150×150×30

mm

闭 / 开环分辨率

3.5

1

nm

闭环线性度

0.15

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1

-

%F.S.

俯仰 / 偏航 / 滚动

<30

<30

μrad

运动方向刚度

0.6

0.6

N/μm±20%

推 / 拉力

60/10

60/10

N

空载谐振频率

200

200

 Hz±20%

带载谐振频率

45（@6kg）

45（@6kg）

 Hz±20%

承载能力

正向6/倒置6/卧式0.5

正向6/倒置6/卧式0.5

kg

静电容量

10.8/ 轴

10.8/ 轴

μF±20%

台体材料

铝合金

铝合金

重量（不含线）

<1.1

<1.1

kg±5%