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P17.XY200系列压电纳米定位台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现XY轴187.5μm的扫描范围，通光孔为60×60mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。
P17.XY200系列压电纳米定位台，行程可达187.5μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间，适合于显微及扫描中的样品定位。
产品特点
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产品实物图 
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产品运动示意图 
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台体采用放大机构设计，运动行程范围大 
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大通孔、大行程、稳定性好、响应速度快
P17.XY200系列压电扫描台为压电陶瓷驱动快速、高精度扫描台，可以实现 XY轴187.5×187.5μm的位移行程，优异的结构设计无摩擦、导向精度高、响应速度快，响应时间可达 5ms。 |
平稳和准确的扫描圆形驱动 精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。 
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频率负载曲线 
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频率负载曲线 
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应用实例-晶圆定位 P17.XY200 系列压电扫描台适用于需要大行程高精度的应用，该产品已 经成功应用于半导体测试、表面结构分析、显微成像等领域。与芯明天压电物镜定位器配套用于晶圆定位，可带动晶圆做XY轴187.5μm行程范围的纳米级精密定位。 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P17.XY200S |
P17.XY200K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X、Y |
X、Y |
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驱动控制 |
2路驱动，2路传感 |
2路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
150/轴 |
150/轴 |
µm/轴±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
187.5/轴 |
187.5/轴 |
µm/轴10% |
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传感器类型 |
SGS |
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通孔尺寸 |
60×60 |
60×60 |
mm |
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分辨率 |
5 |
1.5 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
<15 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
40/15 |
40/15 |
N |
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运动方向刚度 |
X0.2/Y0.2 |
X0.2/Y0.2 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
X0.24/Y0.4 |
X0.24/Y0.4 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
30 |
5 |
ms±20% |
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闭环工作频率（-3dB） |
25（负载28g） |
- |
Hz±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
1 |
1 |
Kg |
| 立式安装 | 0.07 | 0.07 | ||
| 倒置安装 | 1 | 1 | ||
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驱动性能 |
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静电容量 |
3.6 |
3.6 |
μF/轴±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
140×140×25 |
140×140×25 |
mm |
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重量 |
660 |
660 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
