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P16.XY20系列二维压电扫描台为XY轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心通孔孔径为26mm，可以实现XY轴±8μm的位移行程，产品体积小巧、结构紧凑易于集成与安装。适易于嵌入其他设备中，用于精密定位与微扫台。
产品特点
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产品运动示意图 
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台体采用放大机构设计，运动行程范围大 
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P16.XY20定制结构 P16.XY20可根据您实际应用进行参数定制，如行程范围、承载、外形结构尺寸等，如下图所示，是为客户实际应用环境进行外形结构定制的产品。 
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应用实例-红外热像仪 芯明天P16.XY20 系列压电扫描台以其高频率、高分辨率等特点应用于红外热像仪中，提高了热像仪成像的分辨率。 
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高动态、高分辨率、高定位精度 P16.XY20压电扫描台为小体积高精度平移扫描台，是为高分辨率、高动态、高定位精度应用而设计的XY轴扫描台，内置压电陶瓷，可以实现XY轴±10μm的位移行程，分辨率可以达到0.1nm，满行程重复定位精度达纳米级。 产品采用不锈钢材质，特殊的结构设计使其具有大的刚度，可以实现谐振频率2000Hz，满足工业上对高频率、高精度等应用的需求。 |
平稳的扫描圆形驱动 精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳。 
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谐振频率与负载曲线 
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位移与电压曲线 
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线性度曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P16.XY20S |
P16.XY20K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X、Y |
X、Y |
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运动和定位 |
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驱动控制 |
3 路驱动，2路传感 |
3 路驱动 |
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标称行程范围（0~100V） |
±6.6/轴 |
±6.6/轴 |
µm±10% |
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行程范围（0~120V） |
±8/轴 |
±8/轴 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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通孔尺寸 |
Ø26 |
Ø26 |
mm |
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分辨率 |
0.5 |
0.2 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
44/44 |
44/44 |
N |
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运动方向刚度 |
X2.2/Y2.2 |
X2.2/Y2.2 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
X2/Y2 |
X2/Y2 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
1.5 |
0.7 |
ms±20% |
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承载能力 |
1 |
1 |
Kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
1.6 |
1.6 |
μF/轴±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
70×70×16 |
70×70×16 |
mm |
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重量 |
180 |
180 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
