型号

运动自由度

位移[μm]

通孔尺寸[mm]

承载能力[kg]

谐振频率[kHz]

分辨率[nm]

P12.XYZ100

XYZ

100/轴

Φ25/Φ35

0.6

X0.23/Y0.18/Z0.15

1

P12.XY500Z800

XYZ

XY500/Z800

Φ18

0.25

-

XY4/Z6.5

P12A.XYZ100

XYZ

100/轴

45×45

0.5

X0.2/Y0.15/Z0.12

1

P12A.XYZ200

XYZ

200/轴

45×45

0.3

X0.15/Y0.13/Z0.09

2

P12A.XY200Z100

XYZ

XY250/Z100

45×45

0.5

XY0.24/Z0.15

XY3/Z1

P12B.XYZ100

XYZ

100/轴

Φ10

0.2

0.03

1

P13A.XYZ80

XYZ

80/轴

5×5

0.1

0.35

0.3

P15.XYZ100-B1

XYZ

120/轴

60×60

1

X0.3/Y0.35/Z0.4

1

P15.XYZ100-B2

XYZ

120/轴

60×60

2

X0.389/Y0.355/Z0.4

1

P15.XYZ300

XYZ

300/轴

66×66

0.5

X0.14/Y0.17/Z0.22

2.5

P15.XYZ300-C1

XYZ

±150/轴

66×66

3

X0.19/Y0.145/Z0.249

2.5

P15.XYZ300-C2

XYZ

±150/轴

66×66

5

X0.18/Y0.2/Z0.2

5

P16.XY20Z7

XYZ

XY±12.5/Z8.5

Φ26

0.5

XY1.7/Z1.4

XY0.3/Z0.2

P18.XYZ200

XYZ

200/轴

Φ35

0.8

X0.12/Y0.2/Z0.3

2

P79.XYZ50

XYZ

50/轴

84×65

0.5

X0.52/Y0.63/Z0.49

0.5

P79.XYZ50-B2

XYZ

50/轴

84×65

0.5

X0.499/Y0.589/Z0.47

0.5

XD106.XYZ60

XYZ

70/轴

Φ10

0.2

X0.415/Y0.465/Z0.497

2

XD106.XYZ200

XYZ

XY±100/Z100

Φ50

0.7

X0.18/Y0.18/Z0.25

2

XD107.XY100Z80

XYZ

XY100/Z80

50×50

0.4

XY0.22/Z0.16

1