- 产品介绍
- 意见反馈
P12.XYZ100-C小体积压电纳米定位台是专门为需要大通光孔径的应用而研发设计的三维压电纳米定位台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现110μm/轴的运动范围，通光孔为Φ100 mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。
产品特点
|
|
|
|
|
|
阶跃时间 
|
产品应用
|
|
|
|
|
|
|
|
|
相关产品
P12系列压电扫描台包括X/XY/XZ/XYZ四种运动结构形式，可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。同时，P12具有两种通孔直径可供选择，分别为25mm、35mm。
|
|
|
|
|
|
| 技术参数 | ||||
|
型号 |
S-闭环 |
P12.XYZ100S-C |
P12.XYZ100K-C
|
单位 |
|
K-开环 |
||||
|
运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
|
|
| 驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
3路驱动 |
|
|
|
标称行程范围（0~120V） |
90/轴 |
90/轴 |
µm±10% |
|
|
Max.行程范围（0~150V） |
110/轴 |
110/轴 |
µm±10% |
|
|
传感器类型 |
SGS |
- |
|
|
|
通孔尺寸 |
Ø100 |
Ø100 |
mm |
|
|
闭/开环分辨率 |
4 |
1.5 |
nm |
|
|
闭环线性度 |
X0.24/Y0.29/Z0.30 |
X0.24/Y0.29/Z0.30 |
%F.S. |
|
|
闭环重复定位精度 |
X0.05/Y0.12/Z0.09 |
X0.05/Y0.12/Z0.09 |
%F.S. |
|
|
俯仰/偏航/滚动 |
<20 |
<20 |
µrad |
|
|
推/拉力 |
20/4 |
20/4 |
N |
|
|
运动方向刚度 |
0.3 |
0.3 |
N/µm±20% |
|
|
空载谐振频率 |
XY215/Z145 |
XY215/Z145 |
Hz±20% |
|
| 带载谐振频率@1kg |
XY65/Z60 |
XY65/Z60 |
Hz±20% | |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
100@1kg |
30 |
ms±20% |
|
|
承载能力 |
水平安装 |
1 |
1 |
Kg |
| 立式安装 | 0.1 | 0.1 | ||
| 倒置安装 | 0.4 | 0.4 | ||
|
静电容量 |
6.4/轴 |
6.4/轴 |
μF±20% |
|
|
工作温度范围 |
-20~65 |
-20~65 |
°C |
|
|
材料 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
|
|
重量 |
900 |
900 |
g±5% |
|
|
出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
|
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
 |
 |
 |
| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
||
应用案例
|
笼式结构 
|
低温真空 
|
纳米压印 
|
|
超分辨率显微成像 
|
红外超分辨率成像 
|
激光直写 
|
|
提高CCD分辨率 
|
干涉测量 
|
显微镜探针校准 
|
|
纳米光刻 
|
