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产品特点
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| 技术参数 | |||
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型号 |
P12.XY500Z800S |
P12.XY500Z800K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
3路驱动 |
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XY标称行程范围（0~150V） |
500 |
500 |
μm/轴±10% |
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Z标称行程范围（0~150V） |
800 |
800 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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承载能力 |
250 |
250 |
g |
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XY静电容量 |
28.8 |
28.8 |
μF/轴±20% |
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Z静电容量 |
43.2 |
43.2 |
μF±20% |
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XY轴分辨率 |
14 |
4 |
nm |
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Z轴分辨率 |
22 |
6.5 |
nm |
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重量 |
1000（不含线） |
1000（不含线） |
g±5% |
注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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