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产品特点
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
P12.XY500Z800S |
P12.XY500Z800K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
3路驱动 |
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XY标称行程范围（0~150V） |
500 |
500 |
μm/轴±10% |
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Z标称行程范围（0~150V） |
800 |
800 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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| XY轴分辨率 | 14 | 4 | nm | |
| Z轴分辨率 | 22 | 6.5 | nm | |
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承载能力 |
水平安装 |
0.02 |
0.02 |
kg |
| 立式安装 | 0.02 | 0.02 | ||
| 倒置安装 | 0.25 | 0.25 | ||
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XY静电容量 |
28.8 |
28.8 |
μF/轴±20% |
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Z静电容量 |
43.2 |
43.2 |
μF±20% |
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重量 |
1000（不含线） |
1000（不含线） |
g±5% |
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注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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