P15 压电扫描台是快速、高精度的二维及三维扫描和纳米定位台,具 有非常高的直线度。中心通孔 66×66mm,非常适于透射光应用,如近场 扫描、共焦显微镜和掩模定位。P15 压电扫描台运动行程可达 300μm/ 轴, 它的内部采用有限元分析(FEA)优化的线切割挠曲铰链结构。FEA 使其 设计具有尽可能高的刚度,并使线性和角度跳动最小化。
产品特点
三维运动,行程 300μm/ 轴 |
无摩擦、高精度挠性导向系统 |
可选配闭环传感器 |
扫描平整度高 |
通孔 66×66mm |
真空版本可选 |
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产品应用
三维纳米扫描 |
显微成像 |
镜头三维对准 |
扫描显微镜 |
干涉 |
度量衡学 |
生物技术 |
微操作等 |
技术参数 | ||||||||
型号 |
尾缀S-闭环 |
P15.XY100S-C1 P15.XY100K-C1 |
P15.XYZ100S-B1 P15.XYZ100K-B1 |
P15.XYZ100S-B2 P15.XYZ100K-B2 |
P15.XYZ300S
P15.XYZ300K |
P15.XYZ300S-C1
P15.XYZ300K-C1 |
P15.XYZ300S-C2 |
单位 |
运动自由度 |
X、Y |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
2 路驱动,2路传感 |
3 路驱动,3路传感 |
4 路驱动,3路传感 |
3 路驱动,3路传感 |
4 路驱动,3路传感 |
4 路驱动,3路传感 |
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标称行程范围(0~120V) |
80/ 轴 |
100/ 轴 |
XY±50 Z100 |
240/ 轴 |
±120/ 轴 |
±120/ 轴 |
μm±10% |
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行程范围(0~150V) |
100/ 轴 |
120/ 轴 |
XY±60 Z120 |
300/ 轴 |
±150/ 轴 |
±150/ 轴 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
66×66 |
60×60 |
60×60 |
66×66 |
66×66 |
66×66 |
mm |
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闭/开环分辨率 |
3.5/1 |
3.5/1 |
3.5/1 |
8/2.5 |
8/2.5 |
8/2.5 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.15/- |
0.2/- |
0.2/- |
0.2/- |
0.2/- |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
0.1/- |
0.1/- |
0.1/- |
0.15/- |
0.15/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<30 |
30 |
30 |
<30 |
<150 |
<100 |
μrad |
|
推/拉力 |
60/10 |
100/20 |
XY150/20 Z100/20 |
50/10 |
200/10 |
200/10 |
N |
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运动方向刚度 |
0.6 |
0.8 |
1.6/1.6/0.8 |
0.1 |
1 |
1 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
200 |
300/350/400 |
389/355/400 |
140/170/220 |
190/145/249 |
180/200/200 |
Hz±20% |
|
带载谐振频率 |
45(@6kg) |
- |
- |
- |
145/110/145 (@300g) |
49/49/69 (@5kg) |
Hz±20% |
|
闭 / 开环空载阶跃时间 |
- |
- |
- |
60/10 |
- |
- |
ms±20% |
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承载能力 |
正向 6/ 倒置 6/ |
1 |
2 |
0.5 |
3 |
5 |
kg |
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静电容量 |
10.8/轴 |
XY7.2/Z14.4 |
14.4 |
XY10.8/Z13.2 |
21.6/轴 |
21.6/21.6/43 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
<1.1 |
0.7 |
0.7 |
0.83 |
- |
- |
kg±5% |
** 可定制超低温版本及超高真空版本。
***连接器可定制。
注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
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应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |