P15.XYZ三维XYZ压电扫描台 300μm 中孔60×60mm当前位置:产品首页 >> 三维中空式压电扫描台>>P15.XYZ三维XYZ压电扫描台 300μm 中孔60×60mm
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P15 压电扫描台是快速、高精度的二维及三维扫描和纳米定位台,具 有非常高的直线度。中心通孔 66×66mm,非常适于透射光应用,如近场 扫描、共焦显微镜和掩模定位。P15 压电扫描台运动行程可达 300μm/ 轴, 它的内部采用有限元分析(FEA)优化的线切割挠曲铰链结构。FEA 使其 设计具有尽可能高的刚度,并使线性和角度跳动最小化。


产品特点


 三维运动,行程 300μm/ 轴

 无摩擦、高精度挠性导向系统

 可选配闭环传感器

 扫描平整度高

 通孔 66×66mm

 真空版本可选




闭环上升曲线

位移与电压曲线

线性度曲线


产品应用


 三维纳米扫描

 显微成像

 镜头三维对准

 扫描显微镜

 干涉

 度量衡学

 生物技术

 微操作等

    技术参数

型号

尾缀S-闭环
尾缀K-开环

P15.XY100S-C1

P15.XY100K-C1

P15.XYZ100S-B1

P15.XYZ100K-B1

P15.XYZ100S-B2

P15.XYZ100K-B2

P15.XYZ300S

P15.XYZ300K

P15.XYZ300S-C1

P15.XYZ300K-C1

P15.XYZ300S-C2
P15.XYZ300K-C2

单位

运动自由度

X、Y

X、Y、Z

X、Y、Z
X、Y、Z
X、Y、Z
X、Y、Z

驱动控制

2 路驱动,2路传感

3 路驱动,3路传感

4 路驱动,3路传感
3 路驱动,3路传感
4 路驱动,3路传感
4 路驱动,3路传感

标称行程范围(0~120V)

80/ 轴

100/ 轴

XY±50
Z100
240/ 轴
±120/ 轴
±120/ 轴

μm±10%

行程范围(0~150V)

100/ 轴

120/ 轴

XY±60
Z120
300/ 轴
±150/ 轴
±150/ 轴

μm±10%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-
SGS/-
SGS/-
SGS/-

通孔尺寸

66×66

60×60

60×60
66×66
66×66
66×66

mm

闭/开环分辨率

3.5/1

3.5/1

3.5/1
8/2.5
8/2.5
8/2.5

nm

闭环线性度

0.15/-

0.2/-

0.2/-
0.2/-
0.2/-
0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1/-

0.1/-

0.1/-
0.1/-
0.15/-
0.15/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<30

30

30
<30
<150
<100

μrad

推/拉力

60/10

100/20

XY150/20
Z100/20
50/10
200/10
200/10

N

运动方向刚度

0.6

0.8

1.6/1.6/0.8 0.1
1
1

N/μm±20%

空载谐振频率

200

300/350/400

389/355/400
140/170/220
190/145/249
180/200/200

Hz±20%

带载谐振频率

45(@6kg)

-

-
-
145/110/145
(@300g)

49/49/69
(@5kg)

Hz±20%

闭 / 开环空载阶跃时间

-

-

-
60/10
-
-

ms±20%

承载能力

正向 6/ 倒置 6/
卧式 0.5

1

2
0.5
3
5

kg

静电容量

10.8/轴

XY7.2/Z14.4

14.4
XY10.8/Z13.2
21.6/轴
21.6/21.6/43

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

钢、铝

钢、铝
钢、铝

重量

<1.1

0.7

0.7
0.83
-
-

kg±5%

    ** 可定制超低温版本及超高真空版本。

    ***连接器可定制。

    注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 

    注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    P15.XY100S/K-C1 尺寸图 (点击图片可放大查看)
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    P15.XYZ100 尺寸图 (点击图片可放大查看)
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    P15.XYZ300 尺寸图 (点击图片可放大查看)
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    P15.XYZ300S/K-C1 尺寸图 (点击图片可放大查看)
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    P15.XYZ300S/K-C2 尺寸图 (点击图片可放大查看)
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    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF

P15.XY100S/K-C1

P15.XYZ100-B1

P15.XYZ100-B1


P15.XYZ300

P15.XYZ300S/K-C1

P15.XYZ300S/K-C2

Step



/
参数表/Specs Sheet




使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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