P15.XYZ三维XYZ压电纳米定位台 300μm 中孔60×60mm当前位置：产品首页 >> 三维中空式压电扫描台>>P15.XYZ三维XYZ压电纳米定位台 300μm 中孔60×60mm

产品介绍
应用
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P15 压电纳米定位台是快速、高精度的二维及三维扫描和纳米定位台，具有非常高的直线度。中心通孔 66×66mm，非常适于透射光应用，如近场扫描、共焦显微镜和掩模定位。P15 压电扫描台运动行程可达 300μm/ 轴，它的内部采用有限元分析（FEA）优化的线切割挠曲铰链结构。FEA 使其设计具有尽可能高的刚度，并使线性和角度跳动最小化。

产品特点

三维运动，行程 300μm/ 轴	无摩擦、高精度挠性导向系统	可选配闭环传感器	扫描平整度高
通孔 66×66mm	真空版本可选

闭环上升曲线

位移与电压曲线

线性度曲线

产品应用

三维纳米扫描	显微成像	镜头三维对准	扫描显微镜
干涉	度量衡学	生物技术	微操作等

技术参数
型号	尾缀S-闭环尾缀K-开环	P15.XY100S-C P15.XY100K-C	P15.XYZ100S P15.XYZ100K	P15.XYZ120S P15.XYZ120K	P15.XYZ300S P15.XYZ300K	P15.XYZ300S-A P15.XYZ300K-A	P15.XYZ300S-C P15.XYZ300K-C	单位
运动自由度		X、Y	X、Y、Z	X、Y、Z	X、Y、Z	X、Y、Z	X、Y、Z
驱动控制		2 路驱动，2路传感	3 路驱动，3路传感	4 路驱动，3路传感	3 路驱动，3路传感	4 路驱动，3路传感	4 路驱动，3路传感
标称行程范围（0~120V）		80/ 轴	100/ 轴	XY±50 Z100	240/ 轴	XY±120/ 轴 Z240	XY±120/ 轴 Z240	μm±10%
Max.行程范围（0~150V）		100/ 轴	120/ 轴	XY±60 Z120	300/ 轴	XY±150/ 轴 Z300	XY±150/ 轴 Z300	μm±10%
传感器类型		SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
通孔尺寸		66×66	60×60	60×60	66×66	66×66	66×66	mm
闭/开环分辨率		3.5/1	3.5/1	3.5/1	8/2.5	8/2.5	8/2.5	nm
闭环线性度		0.15/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.15/-	0.15/-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<30	30	30	<30	<100	<150	μrad
推/拉力		60/10	100/20	XY150/20 Z100/20	50/10	200/10	200/10	N
运动方向刚度		0.6	0.8	1.6/1.6/0.8	0.1	1	1	N/μm±20%
空载谐振频率		200	300/350/400	389/355/400	140/170/220	180/200/200	190/145/249	Hz±20%
带载谐振频率		45（@6kg）	-	-	-	49/49/69 （@5kg）	145/110/145 （@300g）	Hz±20%
闭 / 开环空载阶跃时间		-	-	-	60/10	-	-	ms±20%
承载能力	水平安装	6	1	2	0.5	5	3	kg
	立式安装	0.5	0.5	1	0.05	1	0.5
	倒置安装	6	0.5	1	0.5	1	0.5
静电容量		10.8/轴	XY7.2/Z14.4	14.4	XY10.8/Z13.2	21.6/21.6/43	21.6/轴	μF±20%
材质		钢、铝	钢、铝	钢、铝	铝	钢、铝	钢、铝
重量		<1.1	0.7	0.7	0.83	-	-	kg±5%

** 可定制超低温版本及超高真空版本。

***连接器可定制。

注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。

注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。

安装方向	水平安装	立式安装	倒置安装
释义	将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT 平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向	将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载	将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方
示意图
备注	当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口

P15.XY100S/K-C 尺寸图 (点击图片可放大查看)

P15.XYZ100/P15.XYZ120 尺寸图 (点击图片可放大查看)

P15.XYZ300 尺寸图 (点击图片可放大查看)

P15.XYZ300S/K-A 尺寸图 (点击图片可放大查看)

P15.XYZ300S/K-C 尺寸图 (点击图片可放大查看)

尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF	P15.XY100S/K-C	P15.XYZ100	P15.XYZ120	P15.XYZ300	P15.XYZ300S/K-A	P15.XYZ300S/K-C
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual