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产品特点
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位移与电压曲线 
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带载阶跃时间 
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| 技术参数 | |||
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型号 |
P12A.XY200Z100S |
P12A.XY200Z100K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
3路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
X200/Y200/Z80 |
X200/Y200/Z80 |
μm±10％ |
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行程范围（0~150V） |
X250/Y250/Z100 |
X250/Y250/Z100 |
μm±10％ |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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闭/开环分辨率 |
XY7/Z3 |
XY3/Z1 |
nm |
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闭环线性度 |
X0.1/Y0.1/Z0.2 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
X0.05/Y0.05/Z0.1 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
X240/Y240/Z150 |
X240/Y240/Z150 |
Hz±20％ |
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承载能力 |
500 |
500 |
g |
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静电电容 |
X7.2/Y7.2/Z1.8 |
X7.2/Y7.2/Z1.8 |
μF±20％ |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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