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P16.XY20Z7 系列小体积压电纳米定位台可以实现 XY 轴 ±12.5μm 和 Z 轴 8.5μm 的位移 行程，产品体积小巧、结构紧凑易于集成与安装。
产品特点
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| 技术参数 | |||
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型号 |
P16.XY20Z7K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y |
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驱动控制 |
4 路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
XY±10/Z6.8 |
µm/轴±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
XY±12.5/Z8.5 |
µm/轴±10% |
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通孔尺寸 |
Ø26 |
mm |
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闭 / 开环分辨率 |
XY0.3/Z0.2 |
nm |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
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空载谐振频率 |
XY1700/Z1400 |
Hz±20% |
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闭 / 开环空载阶跃时间 |
XY0.2/Z0.4 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
0.5 |
Kg |
| 立式安装 | 0.1 | ||
| 倒置安装 | 0.1 | ||
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静电容量 |
XY1.6/Z3.2 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
600 |
g±5% |
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注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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