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XD106.系列压电扫描台是三维运动压电平台，它是专为极低温、真空及无磁环境应用而设计。它的中心具有直径10或50mm的通孔。
产品特点
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位移与电压曲线（XD106.XYZ200K） 
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XD106.XYZ60K 压电扫描台 
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
XD106.XYZ60K |
XD106.XYZ200K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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电源驱动电压 |
0~60V@常温 0~150V@低温4K |
0~150V@常温、低温100K |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
4路驱动，3路传感 |
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驱动源 |
压电堆栈 |
压电堆栈 |
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标称行程范围（0~150V） |
70@60V |
XY±100/Z100@150V |
μm/轴±10% |
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标称行程范围（低温） |
30@150V @4K温度 |
XY±40/Z50@150V @100K温度 |
μm/轴±20% |
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中心通孔直径 |
10 |
50 |
mm |
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分辨率 |
2 |
2 |
nm |
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空载谐振频率 |
X415/Y465/Z497 |
XY180/Z250 |
Hz±20% |
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带载 200g 谐振频率 |
XY105/Z229 |
XY140/Z200 |
Hz±20% |
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静电容量 |
XY5.4，Z10.9 |
XY3.6,Z7.2 |
μF±20% |
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材质 |
钛 |
钛 |
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承载能力 |
200 |
700 |
g |
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重量 |
220 |
1360 |
g±5% |
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使用方法 |
倒置使用 |
正向使用 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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