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P12.XYZ为三维XYZ轴小体积压电纳米定位台，结构紧凑，外形尺寸70×70×24mm，行程可达100μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间，台体中心中孔尺寸达Φ35mm，适合于显微及扫描中的样品定位。
产品特点
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产品实物图 
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产品运动示意图 
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台体采用放大机构设计，运动行程范围大 
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闭环线性度 
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频率负载曲线 
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开 / 闭环曲线 
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闭环稳定时间 P12 系列压电扫描台具有优异的阶跃稳定性，下图为 P12.X100S 负载 125g 达满行程的闭环稳定时间约 20ms。 
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平稳的扫描圆形驱动 精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳。 
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定制版 
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定制版 
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产品应用
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相关产品
P12系列压电扫描台包括X/XY/XZ/XYZ四种运动结构形式，可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。同时，P12具有两种通孔直径可供选择，分别为25mm、35mm。
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
S-闭环 |
P12.XYZ100S
P12.XYZ100K |
P12.XYZ100S-D P12.XYZ100K-D |
单位 |
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K-开环 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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运动和定位 |
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标称行程范围（0~120V） |
80 |
80 |
µm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
100 |
100 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
Ø25 |
Ø35 |
mm |
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分辨率 |
3/1 |
3/1 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.1/- |
0.1/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05/- |
0.05/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
<15 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
20/4 |
20/4 |
N |
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运动方向刚度 |
X0.3/Y0.25/Z0.2 |
X0.3/Y0.25/Z0.2 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
X0.23/Y0.18/Z0.15 |
X0.23/Y0.18/Z0.15 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
30/0.8 |
30/0.8 |
ms±20% |
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闭环工作频率（-3dB） |
- |
- |
Hz±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
0.6 |
0.6 |
Kg |
| 立式安装 | 0.03 | 0.03 | ||
| 倒置安装 | 0.03 | 0.03 | ||
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驱动性能 |
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静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF/轴±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
70×70×24 |
70×70×24 |
mm |
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重量 |
260 |
260 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***取决于显微镜转接件。
****连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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| 技术参数： |
