P12.XYZ 维XYZ压电扫描台 100μm ф35mm当前位置:产品首页 >> 三维中空式压电扫描台>>P12.XYZ 维XYZ压电扫描台 100μm ф35mm
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P12.XYZ为三维XYZ轴压电扫描台,结构紧凑,外形尺寸70×70×24mm,行程可达100μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率,毫秒级的响应时间,台体中心中孔尺寸达Φ35mm,适合于显微及扫描中的样品定位。


产品特点


 三维XYZ向运动

 行程100μm/轴

 承载0.6kg

 响应速度快

 闭环重复定位精度高

 真空版本可选 

 

 


产品实物图

产品运动示意图

台体采用放大机构设计,运动行程范围大

闭环线性度

频率负载曲线

开 / 闭环曲线

闭环稳定时间

P12 系列压电扫描台具有优异的阶跃稳定性,下图为 P12.X100S 负载 125g 达满行程的闭环稳定时间约 20ms。

平稳的扫描圆形驱动

精准圆形驱动控制,可以通过精切定位XY平台的每一轴,采用正弦波90°相差输入,也可以通过PID修正位移进行调整,根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳。

定制版

定制版


产品应用


 图像处理与稳定

 精密定位

 光学捕获

 扫描显微

 干涉/计量

 半导体测量

 表面检测

 光学计量

 光学显微成像

 SPM扫描显微镜

 掩模/晶圆定位

 表面结构分析


相关产品


P12系列压电扫描台包括X/XY/XZ/XYZ四种运动结构形式,可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。同时,P12具有两种通孔直径可供选择,分别为25mm、35mm。


P12.X一维 100μm运动范围

P12.Z一维 100/200/300μm运动范围

P12.XY二维 100μm/轴运动范围

P12.XZ二维 100μm/轴运动范围

P12.XYZ三维 100μm/轴运动范围

    技术参数

型号

S-闭环

P12.XYZ100S-D3

P12.XYZ100K-D3

单位

K-开环

  运动自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

 

  运动和定位

  标称行程范围(0~120V)

80

80

µm±10%

  行程范围(0~150V)

100

100

µm±10%

  传感器类型

SGS

-

 

  通孔尺寸

Ø35(Ø25可选)

Ø35(Ø25可选)

mm

  分辨率

3

1

nm,typ.

  闭环线性度

0.1

-

%F.S.

  闭环重复定位精度

0.05

-

%F.S.

  俯仰/偏航/滚动

<15

<15

µrad

  机械性能

  运动方向推/拉力

20/4

20/4

N

  运动方向刚度

X0.3/Y0.25/Z0.2

X0.3/Y0.25/Z0.2

N/µm±20%

  空载谐振频率

X0.23/Y0.18/Z0.15

X0.23/Y0.18/Z0.15

kHz±20%

  空载阶跃时间

30

0.8

ms±20%

  闭环工作频率(-3dB)

-

-

Hz±20%

  承载能力

0.6

0.6

Kg

  驱动性能

  静电容量

1.8

1.8

μF/轴±20%

  其他

  工作温度范围**

-20~80

-20~80

°C

  材质

钢、铝

钢、铝

 

  外形尺寸(长×宽×高)

70×70×24

70×70×24

mm

  重量

300

300

g±5%

  出线长

1.5

1.5

m±10mm

  传感/电压连接器***

LEMO

LEMO

    ** 可定制低温版本及高真空版本。 

    ***取决于显微镜转接件。 

    ****连接器可定制。 

    注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 

    注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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纳米压印

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推荐控制器

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上位机通信、模拟、旋钮
开环/闭环
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3路输出
模拟、上位机通信
开环/闭环
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超小体积压电控制器

1路输出
模拟、上位机通信
开环/闭环
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工业式压电控制器

1路输出
模拟输入
开环/闭环
平均功率50W


压电控制器

3路输出
模拟控制
闭环
平均电流25mA


工业式压电控制器

1路输出
模拟、旋钮、I/O控制
开环/闭环
平均功率6W

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    经销商 最终用户
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