P12系列压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3维并联式平移扫描台,台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm,满足显微等应用。压电扫描台可以实现单轴300μm的位移行程,一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选,以满足不同应用的需求。
P12.XY/XZ-D3为二维XY或XZ轴运动压电扫描台,结构紧凑,外形尺寸70×70×24mm,行程可达100μm/轴。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率,毫秒级的响应时间,台体中心中孔尺寸Φ35mm,适合于显微及扫描中的样品定位。
产品特点
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产品实物图 ![]() |
产品运动示意图 ![]() |
台体采用放大机构设计,运动行程范围大 ![]() |
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闭环稳定时间 P12 系列压电扫描台具有优异的阶跃稳定性,下图为 P12.X100S 负载 125g 达满行程的闭环稳定时间约 20ms。 ![]() |
平稳的扫描圆形驱动 精准圆形驱动控制,可以通过精切定位XY平台的每一轴,采用正弦波90°相差输入,也可以通过PID修正位移进行调整,根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳。 ![]() |
产品应用
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相关产品
P12系列压电扫描台包括X/XY/XZ/XYZ四种运动结构形式,可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。同时,P12具有两种通孔直径可供选择,分别为25mm、35mm。
中孔直径25mm版本:
中孔直径35mm版本:
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技术参数 | ||||
型号 |
S-闭环 |
P12.XY100S |
P12.XZ100S |
单位 |
K-开环 |
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运动自由度 |
X、Y |
X、Z |
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运动和定位 |
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标称行程范围(0~120V) |
80 |
80 |
µm/轴±10% |
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行程范围(-20~150V) |
100 |
100 |
µm/轴±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
Ø35(Ø25可选) |
Ø35(Ø25可选) |
mm |
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分辨率 |
7/4 |
7/4 |
nm,typ. |
|
闭环线性度 |
0.12/- |
0.12/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.08/- |
0.08/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
25/8 |
25/8 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.25 |
0.25 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.2 |
0.2 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
15 |
0.8 |
ms±20% |
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空载工作频率* |
10%行程 |
100 |
>100 |
Hz±20% |
100%行程 |
9 |
>9 |
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承载能力 |
0.6 |
0.6 |
Kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸(长×宽×高) |
70×70×24 |
70×70×24 |
mm |
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重量 |
200 |
200 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率,建议在小于谐振频率以下使用,若在此频率下工作,输入电压要足够小,请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***取决于显微镜转接件。
****连接器可定制。
注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm,粗糙度约1.6至3.2,特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
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应用案例
笼式结构 ![]() |
低温真空 ![]() |
纳米压印 ![]() |
超分辨率显微成像 ![]() |
红外超分辨率成像 ![]() |
激光直写 ![]() |
提高CCD分辨率 ![]() |
干涉测量 ![]() |
显微镜探针校准 ![]() |
纳米光刻 ![]() |