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| 技术参数 | ||||||
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轴 |
机构 |
型号 |
位移[μm] |
分辨率[nm] |
谐振频率[kHz] |
承载[kg] |
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XY轴 |
直驱机构 |
P63.XY7 |
6.8/轴 |
0.1 |
X1.3/Y1.9 |
0.5 |
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直驱机构 |
P63.XY18-D1 |
18/轴 |
2 |
0.5 |
0.5 |
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直驱机构 |
P66.XY30 |
30/轴 |
0.7 |
X0.9/Y1.6 |
5 |
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直驱机构 |
P66.XY60 |
60/轴 |
0.8 |
X0.9/Y1.2 |
4 |
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放大机构 |
P13.XY40 |
37.5/轴 |
0.7 |
X0.45/Y0.55 |
0.05 |
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放大机构 |
P13.XY50 |
43/轴 |
1 |
X0.45/Y0.55 |
0.8 |
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放大机构 |
P11.XY100 |
100/轴 |
4 |
X0.2/Y0.3 |
0.7 |
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XZ轴 |
直驱机构 |
P63.XZ7 |
6.8/轴 |
0.1 |
X1.5/Y1.6 |
0.5 |
|
直驱机构 |
P63.X18Z8-D1 |
X18/Z8 |
0.3 |
X2/Z1 |
0.5 |
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直驱机构 |
P66.XZ30 |
30/轴 |
1 |
X1.5/Z0.8 |
0.7 |
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放大机构 |
P11.XZ100 |
100/轴 |
4 |
X0.2/Y0.3 |
0.7 |
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放大机构 |
XD604.XZ8 |
8/轴 |
4 |
0.56 |
80 |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
