型号

XD604.XZ8S

XD604.XZ8K

单位

运动方向

X、Z

X、Z

驱动控制

2路驱动，2路传感

2路驱动

X轴标称行程范围（0~1000V）

8

8

μm±10%

Z轴标称行程范围（0~1000V）

8

8

μm±10%

传感器

SGS

-

分辨率

0.5

0.1

nm

闭环线性度

0.19

0.19

%F.S.

闭环重复定位精度

0.13

0.13

%F.S.

空载谐振频率

560

560

Hz±20%

带载80kg谐振频率

340

340

Hz±20%

带载80kg工作频率@200nm

20

20

Hz±20%

空载响应时间

15

15

ms±20%

静电容量

X0.44/Z1.33

X0.44/Z1.33

μF±20%

材料

钢、铝

钢、铝

承载能力

80

80

kg

重量

63

63

kg±5%

出线长

1.5

1.5

m±10mm