- 产品介绍
- 应用
- 意见反馈
产品特点
|
|
|
|
|
| 技术参数 | ||||
|
型号 |
XD604.XZ8S |
XD604.XZ8K |
单位 |
|
|
运动方向 |
X、Z |
X、Z |
|
|
|
驱动控制 |
2路驱动，2路传感 |
2路驱动 |
|
|
|
X轴标称行程范围（0~1000V） |
8 |
8 |
μm±10% |
|
|
Z轴标称行程范围（0~1000V） |
8 |
8 |
μm±10% |
|
|
传感器 |
SGS |
- |
|
|
|
分辨率 |
0.5 |
0.1 |
nm |
|
|
闭环线性度 |
0.19 |
0.19 |
%F.S. |
|
|
闭环重复定位精度 |
0.13 |
0.13 |
%F.S. |
|
|
空载谐振频率 |
560 |
560 |
Hz±20% |
|
|
带载80kg谐振频率 |
340 |
340 |
Hz±20% |
|
|
带载80kg工作频率@200nm |
20 |
20 |
Hz±20% |
|
|
空载响应时间 |
15 |
15 |
ms±20% |
|
|
静电容量 |
X0.44/Z1.33 |
X0.44/Z1.33 |
μF±20% |
|
|
材料 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
|
|
承载能力 |
水平安装 |
80 |
80 |
kg |
| 立式安装 | 10 | 10 | ||
| 倒置安装 | 10 | 10 | ||
|
重量 |
63 |
63 |
kg±5% |
|
|
出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
|
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
 |
 |
 |
| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
||
应用案例
|
硬盘测试 
|
显微镜探针校准 
|
迈克尔逊干涉仪 
|
