P13 系列压电纳米定位台为二维 XY、三维 XYZ 压电平台,台体采用平行运动学机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,位移为可达 43μm/ 轴。开、闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。
产品特点
二维XY轴运动 |
行程43μm |
体积小巧 |
亚毫秒响应时间 |
纳米级定位精度 |
真空版本可选 |
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放大机构驱动示意图 |
闭环阶跃稳定时间图 |
传感器类型 |
超小体积、无机械间隙、高分辨率
固态铰链平行四边形设计原理,平行运动无机械间隙,该结构原理使其具有非常高的分辨率,运动直线性好。 |
产品应用
2D/3D 扫描系统 |
光路调整 |
半导体技术 |
微操作 |
原子力显微镜 |
纳米定位 |
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技术参数 | |||
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P13.XY50S P13.XY50K |
单位 |
运动自由度 |
X、Y |
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驱动控制 |
2路驱动,2路传感 |
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标称行程范围(0~120V) |
34/轴 |
μm±20% |
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行程范围(0~150V) |
43/轴 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
1.5/0.5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
- |
μrad |
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推/拉力 |
- |
N |
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运动方向刚度 |
- |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
X0.55/Y0.52 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
30/3 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.8 |
kg |
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静电容量 |
0.8/轴 |
μF±20% |
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材质 |
铝、钢 |
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重量 |
120 |
g±5% |
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |