P13.XY50S P13.XY50K压电纳米定位台当前位置:产品首页 >> 二维压电纳米定位台>>P13.XY50S P13.XY50K压电纳米定位台
  • 产品介绍
  • 应用
  • 意见反馈

P13 系列压电纳米定位台为二维 XY、三维 XYZ 压电平台,台体采用平行运动学机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,位移为可达 43μm/ 轴。开、闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。


产品特点


 二维XY轴运动

 行程43μm

 体积小巧

 亚毫秒响应时间

 纳米级定位精度

 真空版本可选

 

 


放大机构驱动示意图

闭环阶跃稳定时间图

传感器类型

超小体积、无机械间隙、高分辨率

    固态铰链平行四边形设计原理,平行运动无机械间隙,该结构原理使其具有非常高的分辨率,运动直线性好。
    P13 系列压电纳米定位台易于安装到其他的定位系统并可配置传感测量装置(应变传感器)消除压电陶瓷的迟滞与蠕变特性。

位移与电压曲线

线性度曲线


产品应用


 2D/3D 扫描系统

 光路调整

 半导体技术

 微操作

 原子力显微镜

 纳米定位



    技术参数

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

P13.XY50S

P13.XY50K

单位

运动自由度

X、Y

 

驱动控制

2路驱动,2路传感

标称行程范围(0~120V)

34/轴

μm±20%

行程范围(0~150V)

43/轴

μm±20%

传感器类型

SGS/-

 

闭/开环分辨率

1.5/0.5

nm

闭环线性度

0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

-

μrad

推/拉力

-

N

运动方向刚度

-

N/μm±20%

空载谐振频率

X0.55/Y0.52

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

30/3

ms±20%

承载能力

0.8

kg

静电容量

0.8/轴

μF±20%

材质

铝、钢

 

重量

120

g±5%

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


  • 客户类别:
    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
  • 顾客单位名称:
  • 顾客单位所在城市:
         
  • 您的联系方式:
  • 联系人:
  • 手机:
  • 电话:
  • 邮箱:
  • QQ:
  • (为方便我们对您的意见进行跟踪反馈,请务必填写真实有效的联系方式)
  • 反馈产品类型:
  • 型号:
  • 反馈问题:
    性能问题 外观问题 配件问题 软件问题
  • 留言内容:
  • 验证码: 看不清?


微信公众平台

扫一扫, 获取芯明天更多信息

地址:黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层

电话:0451-86268790

压电 · 纳米 · 运动