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P13 系列小体积压电纳米定位台为二维 XY、三维 XYZ 压电平台，台体采用平行运动学机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，位移为可达 43μm/ 轴。开、闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。
产品特点
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放大机构驱动示意图 
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闭环阶跃稳定时间图 
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传感器类型 
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超小体积、无机械间隙、高分辨率
固态铰链平行四边形设计原理，平行运动无机械间隙，该结构原理使其具有非常高的分辨率，运动直线性好。 |
位移与电压曲线 
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线性度曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P13.XY50S P13.XY50K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y |
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驱动控制 |
2路驱动，2路传感 |
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标称行程范围（0~120V） |
34/轴 |
μm±20% |
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Max.行程范围（0~150V） |
43/轴 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
1.5/0.5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
X0.55/Y0.52 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
30/3 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
0.8 |
kg |
| 立式安装 | 0.02 | ||
| 倒置安装 |
0.5 |
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静电容量 |
0.8/轴 |
μF±20% |
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材质 |
铝、钢 |
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重量 |
120 |
g±5% |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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