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P11.XZ400为二维XZ向压电纳米定位台，其内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现430μm/轴位移。闭环版本全桥设计避免了温度的漂移，确保了纳米级定位精度。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环
尾缀K-开环 |
P11.XY400S |
P11.XY400K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Z |
X、Z |
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驱动控制 |
2路驱动，2路传感 | 2路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
345/轴 |
345/轴 |
μm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
430/轴 |
430/轴 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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闭/开环分辨率 |
15 | 5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.14/0.07 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.025 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
X155/Z135 |
X155/Z135 |
Hz±20% |
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| 带载谐振频率 |
85（负载600g） |
85（负载600g） |
Hz±20% |
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闭 / 开环空载阶跃时间 |
50@600g |
15 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
600 |
600 |
g |
| 立式安装 | 20 | 20 | ||
| 倒置安装 | 20 | 20 | ||
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静电容量 |
20.4/轴 |
20.4/轴 |
μF±20% |
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工作温度范围 |
-20~65 |
-20~65 |
℃ |
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材料 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
1045 |
1045 |
g±5% |
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出线长 |
2 |
2 |
m±10mm |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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