型号

S38.T1S/K

S38.T2S/K

单位

运动自由度

θx、θy

θx、θy

驱动控制

3 路驱动

3 路驱动

标称偏转范围（0~100V）

1或±0.5（≈±103秒）

2或±1（≈±206秒）

mrad±10%

偏转范围（0~120V）

1.2或±0.6（≈±123秒）

2.4或±1.2（≈±247秒）

mrad±10%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

闭/开环分辨率

0.03（<0.01秒）/0.01（<0.01秒）

0.07（≈0.01秒）/0.02（<0.01秒）

μrad

闭环线性度

0.3/-

0.4/-

%F.S

闭环重复定位精度

0.1/-

0.2/-

%F.S

空载谐振频率

7000

2000

Hz±20%

闭环工作频率（-3dB）

400（负载26.7g）

-

Hz±20%

静电容量

1.6

3.6

μF/轴±20%

材质

钢、铜

钢、铜

重量

50（不含线）

60（不含线）

g±5%

角位移与电压曲线

线性度曲线