高分辨率、高动态性
技术参数
型号:P32.ZT4
运动自由度:θx、θy、Z
θx、θy偏转角度(0~120V):5mrad(≈1030”)
Z向直线行程(0~120V):30μm
θx、θy偏转角度(0~150V):6mrad(≈1230”)
Z向直线范围(0~150V):37.5μm
闭环传感器类型:SGS
闭/开环θx、θy偏转分辨率:0.1μrad(≈0.02”)/0.05μrad(≈0.01”)
闭/开环Z向直线分辨率:1nm/0.5nm
闭环线性度:0.05%F.S.
闭环重复定位精度:0.02%F.S.
空载谐振频率(θx、θy):2kHz
闭/开环空载阶跃时间:5ms/2ms
静电容量:3.6μF/轴
材质:钢
重量:350g