技术参数 | |||
型号 |
轴 |
角度范围 |
分辨率 |
H60.XYZTR1 |
θx、θy、θz、X、Y、Z |
±0.16mrad(≈±30秒)/轴 ±0.24mrad(≈±50秒) ±6.5μm/轴 ±3.2μm |
0.01μrad(< 0.01秒) 0.02μrad(< 0.01秒) 0.4nm 0.2nm |
H60.XYZTR2 |
θx、θy、θz、X、Y、Z |
±0.32mrad(≈±66秒)/轴 ±0.48mrad(≈±99秒) ±12.5μm/轴 ±6.4μm |
0.02μrad(<0.01秒) 0.03μrad(<0.01秒) 0.8nm 0.4nm |
H60.XYZTR5 |
θx、θy、θz、X、Y、Z |
±0.64mrad(≈±130秒)/轴 ±0.96mrad(≈±198秒) ±25μm/轴 ±12.8μm |
0.04μrad(<0.01秒) 0.06μrad(≈0.01秒) 1.6nm 0.8nm |
H61.XYZTR0S/K-B1 |
XY、Z、θx、θy、θz |
±30μm/轴 Z:25μm ±0.15mrad/轴(≈±30.9秒)/轴 |
- |
H61 |
θx、θy、θz、X、Y、Z |
1mrad(≈200秒)/轴 6μm/轴 |
0.01μrad(<0.01秒) 0.1nm |
H62 |
θx、θy、θz、X、Y、Z |
±12.5mrad(≈±2578秒)/轴 1.6mrad(≈330秒) ±100μm/轴 200μm |
0.25μrad(≈0.05秒) 0.01μrad(<0.01秒) 2nm 2nm |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |