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角度范围

分辨率

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H60.XYZTR1

θx、θyθz

X、YZ

±0.16mrad(≈±33秒)/轴
±0.24mrad(≈±50秒)
±6.5μm/轴
±3.2μm

0.01μrad(<0.01秒)
0.02μrad(<0.01秒)
0.4nm
0.2nm

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H60.XYZTR3

θx、θyθz

X、YZ

±0.32mrad(≈±66秒)/轴
±0.48mrad(≈±99秒)
±12.5μm/轴
±6.4μm

0.02μrad(<0.01秒)
0.03μrad(<0.01秒)
0.8nm
0.4nm

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H60.XYZTR5

θx、θyθz

X、YZ

±0.6mrad(≈±123秒)/轴
±0.8mrad(≈±165秒)
±40μm/轴
±27.5μm

优于 0.5μrad(0.1秒)
优于 0.5μrad(0.1秒)
优于 0.5nm
优于 0.5nm

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H61.XYZTR0S/K-A

θx、θyθz

X、YZ

±0.35mrad(≈±72秒)/轴
±0.15mrad(≈±31秒)
±40μm/轴
35μm

0.01μrad(<0.01秒)
0.01μrad(<0.01秒)
1nm
0.5nm

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H61.XYZTR0S/K

θx、θyθz

X、YZ

±0.25mrad(≈±51秒)/轴
0.15mrad(≈31秒)
125μm/轴
31μm

0.5μrad(≈0.1秒)
0.5μrad(≈0.1秒)
<10nm
2.5nm

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H63

θx、θyθz

X、YZ

0.8mrad(≈165秒)/轴
4.8μm/轴

0.01μrad(<0.01秒)
0.1nm

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H63A

θx、θyθz

X、YZ

±12.5mrad(≈±2578秒)/轴
1.6mrad(≈330秒)
±100μm/轴
200μm
0.25μrad(≈0.05秒)
0.01μrad(<0.01秒)
2nm
2nm
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H64

θx、θyθz

X、YZ

0.4mrad(≈83秒)/轴
1.6mrad(≈330秒)
18μm/轴
37.5μm
4nrad(<0.01秒)
16nrad(<0.01秒)
0.2nm
0.4nm
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N56.XYZTR20

θx、θyθz

X、YZ

20°/轴
35°
20mm/轴
10mm
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陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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