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H60系列六轴压电纳米定位台，是θx、θy、θz、X、Y、Z六轴运动工作台，通过六支压电促动器的并联协调伸缩实现空间内六个自由度的运动，台体结构紧凑，三种规格型号可供选择，闭环型号定位精度更高，适用于六自由度微操作、微电子精密加工、检测等应用。
产品特点
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六轴并联式机构 H60系列纳米定位台采用六轴并联式设计原理，内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源，可以实现1~6维的精密直线及角度运动。 该系列六轴并联机构可以选择开环或闭环版本，闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈，配置芯明天E00、E73等系列闭环压电控制器可以实时对位移进行精密调整，实现纳米级的精密定位控制。 |
六轴并联式机构 
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传感器类型 
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应用案例-显微成像台 六自由度纳米工作台作为微小器件表面形貌测量的全场并行共焦显微镜关键部件，它的驱动技术及驱动系统可实现微动平台的快速调整、高精度定位和微型化。 |
应用案例-显微成像台 
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相关产品
| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
H60.XYZTR1S |
H60.XYZTR1K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X, Y, Z, θx, θy, θz |
X, Y, Z, θx, θy, θz |
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驱动控制 |
6路驱动，6路传感 |
6路驱动 |
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X、Y轴标称行程范围（0~+120V） |
±6.5 |
±6.5 |
µm±20% |
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Z轴标称行程范围（0~+120V） |
±3.2 |
±3.2 |
µm±20% |
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θx,θy 轴偏摆角度范围（0~+120V） |
±0.16 |
±0.16 |
mrad±20% |
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θz 轴旋转角度范围（0~+120V） |
±0.24 |
±0.24 |
mrad±20% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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θx,θy 轴偏摆分辨率 |
0.02 |
0.01 |
μrad |
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θz 轴旋转分辨率 |
0.04 |
0.02 |
μrad |
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X、Y轴直线分辨率 |
0.8 |
0.4 |
nm |
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Z轴直线分辨率 |
0.4 |
0.2 |
nm |
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闭环线性度 |
0.25 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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机械性能 |
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承载能力 |
5 |
5 |
kg |
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其他 |
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工作温度范围* |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
1000 |
1000 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器** |
LEMO |
LEMO |
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*可定制低温版本及高真空版本。
**连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
