H61.XYZTR0S/K-B2压电偏摆台可产生六轴的超精密运动, 适用于静态六轴的直线纳米定位及角度纳弧度偏转,中心具有 50mm×50mm 的通孔,适于透射光应用。
产品特点
六轴运动 |
高承载能力 |
正向静态使用 |
可选配闭环传感器 |
产品应用
六轴超精密位置调整 |
棱镜位置调整 |
光学应用 |
透射光应用 |
技术参数 | ||
型号 |
H61.XYZTR0S/K-B2 |
单位 |
运动方向 |
X、Y、Z、θx、θy、θz |
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驱动控制 |
7 路驱动,6路传感 |
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XYZ 标称行程范围(0~120V) |
XY:100/ 轴,Z:25 |
μm±20% |
XYZ 标称行程范围(0~150V) |
XY:125/ 轴,Z:31 |
μm±20% |
θxθy 标称偏转行程(0~120V) |
±0.2/ 轴 |
mrad±20% |
θxθy 偏转行程(0~150V) |
±0.25/ 轴 |
mrad±20% |
θz 标称偏转行程(0~120V) |
0.12/ 轴 |
mrad±20% |
θz 偏转行程(0~150V) |
0.15/ 轴 |
mrad±20% |
闭 / 开环 θx、θy 轴偏摆分辨率 |
0.5/ 轴 |
μrad |
闭 / 开环 θz 轴偏摆分辨率 |
0.5/ 轴 |
μrad |
闭 / 开环 X、Y 轴位移分辨率 |
<10 |
nm |
闭 / 开环 Z 轴位移分辨率 |
2.5 |
nm |
闭环线性度 |
直线 0.2,偏转 0.2 |
%F.S. |
闭环重复定位精度 |
直线 0.1,偏转 0.1 |
%F.S. |
空载谐振频率 |
150 |
Hz±20% |
负载谐振频率 |
70(@2kg) |
Hz±20% |
传感器 |
SGS/- |
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承载能力 |
正向 2,卧式 0.1,倒置 0.2 |
kg |
中心通孔
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50×50 |
mm |
使用方式 |
静态 |
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静电容量 |
XY:10.8/ 轴, |
μF±20% |
重量 |
<3 |
kg±5% |
材质 |
钢、铝 |
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注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V。
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应用案例
晶圆表面检测 |