型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

H63A.XYZTR25S

H63A.XYZTR25K

单位

运动自由度

X、Y、Z、θx、θy、θz

X、Y、Z、θx、θy、θz

驱动控制

7 路驱动，6路传感

7 路驱动，6路传感

XYZ标称行程范围（0~100V）

XY：±80、Z：160

XY：±80、Z：160

μm±20%

XYZ Max.标称行程范围（0~120V）

XY：±100、Z：200

XY：±100、Z：200

μm±20%

θxθyθz标称行程范围（0~100V）

θxθy：±10、θz：1.28

θxθy：±10、θz：1.28

mrad±20%

θxθyθz Max.标称行程范围（0~120V）

θxθy：±12.5、θz：1.6

θxθy：±12.5、θz：1.6

mrad±20%

传感器类型

SGS

-

XYZ分辨率

7

2

nm

θxθyθz分辨率

θxθy：0.9、θz：0.06

θxθy：0.25、θz：0.01

μrad

闭环线性度

0.5

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.2

-

%F.S.

空载谐振频率

X140/Y150/Z200

θx270/θy280/θz110

X140/Y150/Z200

θx270/θy280/θz110

Hz±20%

承载能力

0.2

0.2

kg±5%

静电容量

XYθxθy：14.4

Z：28.8  θz：3.6

XYθxθy：14.4

Z：28.8  θz：3.6

μF/轴±20%

材质

钢、铝

钢、铝

重量

960（不含线）

960（不含线）

g±5%