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P63系列高分辨率压电纳米定位台为小体积1~3维压电运动平台，平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化，柔性导向系统具有非常高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，运动平台采用无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，且压电平台体积小巧、结构紧凑易于集成。
产品特点
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产品运动示意图 
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直驱机构式驱动示意图 
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传感器类型 
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快速响应、可选闭环传感 P63 系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统，是为 AFM、SPM、STM 等显微扫描纳米操作等应用而设计的，具有超低惯性，响应时间可达 0.3ms，可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。 |
应用实例：纳米切削 P63系列三维压电纳米定位台已广泛应用于基于SEM在线纳米切削平台的切削力测试实验中。 
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位移与电压曲线 
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线性度曲线 
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谐振频率与负载曲线 
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产品应用
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P63系列产品
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P63系列压电纳米定位台，包括X、Z、XY、XZ、XYZ多种运动方式可选。小体积易于集成配套。 |
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P63.XYZ7S |
P63.XYZ7K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
3路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
5.5/轴 |
5.5/轴 |
μm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
6.8/轴 |
6.8/轴 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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闭/开环分辨率 |
0.2 |
0.1 |
nm |
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闭环线性度 |
0.4 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
<15 |
μrad |
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推/拉力 |
7/2 |
7/2 |
N |
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运动方向刚度 |
X0.9/Y1/Z1.2 |
X0.9/Y1/Z1.2 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
X0.9/Y0.95/Z1.2 |
X0.9/Y0.95/Z1.2 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
1.5 |
0.3 |
ms±20% |
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闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
200 |
200 |
Hz±20% |
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100%行程 |
50 |
50 |
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承载能力 |
水平安装 |
0.4 |
0.4 |
kg |
| 立式安装 | 0.05 | 0.05 | ||
| 倒置安装 | 0.1 | 0.1 | ||
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静电容量 |
0.8/轴 |
0.8/轴 |
μF±20% |
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材质 |
铝 |
铝 |
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重量 |
160 |
160 |
g±5% |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
