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P13.XYZ40 小体积压电纳米定位台为三维 XYZ 压电平台，台体采用平行运动学机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，最大位移为 48μm/ 轴。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。
产品特点
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外观形状 
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产品运动示意图 
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放大机构式驱动示意图 
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小体积、无机械间隙、高分辨率
固态铰链平行四边形设计原理，平行运动无机械间隙，该结构原理使其具有高的分辨率，运动直线性好。 |
传感器类型 
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闭环阶跃稳定时间图 P13.XY50S满行程的稳定时间约为30ms。 
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位移与电压曲线 
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谐振频率与负载曲线 
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线性度曲线 
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产品应用
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P13全系列产品
| 技术参数 | |||
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P13.XYZ40S P13.XYZ40K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
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标称行程范围（0~120V） |
38.4/轴 |
μm±20% |
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Max.行程范围上限（0~150V） |
48/轴 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
5/3 |
nm |
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闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<50 |
μrad |
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推/拉力 |
10/3 |
N |
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运动方向刚度 |
0.5 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
0.6 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
20/3 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
0.2 |
kg |
| 立式安装 | 0.1 | ||
| 倒置安装 | 0.1 | ||
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静电容量 |
0.4/轴 |
μF±20% |
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材质 |
铝钢，低温强磁可选 |
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重量 |
55(不含线) |
g±5% |
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注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
