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P66.XYZ直驱压电平移台，是三维XYZ轴运动压电定位台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
产品特点
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产品运动示意图 
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产品运动示意图 
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直驱机构式驱动示意图 
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开环与闭环版本可选 P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。 传感器使用全桥配置以消除热漂移，使得该系列纳米定位台可以实现满行程0.05%的线性度与重复度。 |
传感器类型 
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应用实例：原子力探针扫描显微镜 芯明天P66.XY压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。 
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位移与电压曲线 
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谐振频率与负载曲线 
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线性度曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P66.XYZ30S P66.XYZ30K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
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标称行程范围（0~120V） |
24/轴 |
μm±10% |
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行程范围上限（0~150V） |
30/轴 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
1/0.5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.15/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
μrad |
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推/拉力 |
30/10 |
N |
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运动方向刚度 |
1.1 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
X0.6/Y0.7/Z1.2 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
30/1 |
ms±20% |
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闭环工作频率（-3dB） |
100（空载） |
Hz±20% |
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承载能力 |
1 |
kg |
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静电容量 |
3.6/轴 |
μF±20% |
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材质 |
铝 |
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重量 |
460 |
g±5% |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
