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产品介绍
P76系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有高聚焦稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。
P76系列为大负载压电物镜定位器，承载力可达500g，并带动大负载物镜做高速运动。闭环精度高，满行程线性度达20nm，可进行激光聚焦，已广泛应用于激光晶圆切割等半导体器件及微电子加工领域中。P76物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于与显微镜集成安装。
P76压电物镜定位器可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡 等多种标准镜头。它也可以通过适配器与手动调节台相结合使用。
产品特点
· Z向运动，行程100μm ·承载0.5kg · 毫秒级响应时间 · 闭环重复定位精度高 · 聚焦稳定性好
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产品组成及运动方向 |
产品运动示意图 |
可装配多种品牌、尺寸的物镜 |
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大负载、频率响、高分辨率 |
频率负载曲线 |
应用实例-超精密激光加工 |
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P76纳米扫描聚焦系统的设计是为了大负载、大孔径物镜在现代高分辨率显微应用中达到阶跃时间。坚固的设计提供了稳定时间及扫描频率，即使带载几百克的物镜时。多个压电驱动器的旋转对称排列及挠曲和杠杆元件的优化设计，使它具有较高的刚度，同时保证了优异的导向精度和动态性。 P76压电物镜定位器的通光孔径为22mm，负载为500g，它兼容多光子显微和共聚焦显微应用中常用的大视场物镜。 |
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响应时间可调节 |
驱动方式 |
闭环曲线 |
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产品应用
· 三维成像 · 自动聚焦系统 · 晶圆切割 · 干涉/计量 · 半导体测试 · 表面检测 · 共焦显微 · 光学显微成像 · SPM扫描显微镜 · 掩模/晶圆定位 · 生物技术 · 表面结构分析
技术参数
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P76.Z100S P76.Z100K |
P76.Z50S |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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标称行程范围（0~120V） |
80 |
60 |
μm±20% |
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最大行程范围（0~150V） |
100 |
75 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
5/2.5 |
15/2.5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.05/- |
0.1/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.02/- |
0.05/- |
%F.S. |
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|
推/拉力 |
70/10 |
- |
N |
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运动方向刚度 |
0.8 |
- |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
800 |
1800 |
Hz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
5/2 |
1.6/1 |
ms±20% |
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闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
400 |
- |
Hz±20% |
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100%行程 |
50 |
- |
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最大承载 |
0.5 |
0.5 |
kg |
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静电容量 |
7.2 |
7.2 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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|
重量 |
520 |
550 |
g±5% |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
**
可定制低温版本及高真空版本。
***取决于显微镜转接件。
****连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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尺寸图 |
尺寸图、参数表、使用说明书下载 |
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型号
尾缀S-闭环
P76.Z100S
P76.Z100K
P76.Z50S
单位
运动自由度
Z
Z
标称行程范围（0~120V）
80
60
μm±20%
最大行程范围（0~150V）
100
75
μm±20%
传感器类型
SGS/-
SGS/-
闭/开环分辨率
5/2.5
15/2.5
nm
闭环线性度
0.05/-
0.1/-
%F.S.
闭环重复定位精度
0.02/-
0.05/-
%F.S.
推/拉力
70/10
-
N
运动方向刚度
0.8
-
N/μm±20%
空载谐振频率
800
1800
Hz±20%
闭/开环空载阶跃时间
5/2
1.6/1
ms±20%
闭环空载
工作频率
10%行程
400
-
Hz±20%
100%行程
50
-
最大承载
0.5
0.5
kg
静电容量
7.2
7.2
μF±20%
材质
钢、铝
钢、铝
重量
520
550
g±5%
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
尾缀K-开环
P76.Z50K
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可定制低温版本及高真空版本。
***取决于显微镜转接件。
****连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
