XP-721.Z一维Z向压电物镜驱动器 100μm 当前位置:产品首页 >> 压电物镜定位器>>XP-721.Z一维Z向压电物镜驱动器 100μm
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XP-721系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的,采用无回差柔性铰链并联导向机构设计,物镜补偿量较小,具有高聚焦稳定性,物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。


XP-721系列为小体积常规型压电物镜定位器,采用分离式螺纹适配器设计,可与多种显微镜配套使用。种螺纹牙可选,如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于与显微镜集成安装。


产品特点


 Z向运动,行程100μm

 承载0.2kg

 毫秒级响应时间

 闭环重复定位精度高

 聚焦稳定性好

 

 

 


外观形状

产品运动示意图

可装配多种品牌、尺寸的物镜

快速安装、高稳定性、长使用寿命

XP-721压电物镜定位器为通用型显微成像聚焦定位器,采用压电陶瓷驱动,可实现的扫描范围为100μm。产品通过螺纹适配器安装于透镜连接架与物镜间。将物镜定位器主体通过螺纹连接到透镜转动架上,再将物镜连接到定位器上,这种设计使得拆卸物镜时不需要拆下其它组件。
      物镜定位器内置高可靠性压电陶瓷,与优异的机械结构相结合,具有稳定性好、使用寿命长等优点。

频率负载曲线

应用实例-倒置光学显微镜

XP-721系列压电物镜定位器安装在倒置光学显微镜中。

响应时间可调节

XP-721系列压电物镜定位器安装在倒置光学显微镜中。

驱动方式

闭环曲线

位移与电压曲线

线性度曲线


产品应用


 三维成像

 精密定位

 扫描显微

 干涉/计量

 半导体测试

 表面检测

 光学计量

 光学显微成像

 SPM扫描显微镜

 掩模/晶圆定位

 生物技术

 表面结构分析

    技术参数

型号

尾缀S-闭环

XP-721.S

XP-721.K

单位

尾缀K-开环

  运动自由度

Z

Z

 

  驱动控制

1路驱动,1路传感 1路驱动

  标称行程范围(0~120V

80

80

µm±10%

  行程范围(0~150V

100

100

µm±10%

  传感器类型

SGS

-

 

  分辨率

3

1

nmtyp.

  闭环线性度

0.2

-

%F.S.

  闭环重复定位精度

0.1

-

%F.S.

  机械性能

  运动方向推/拉力

30/10

30/10

N

  运动方向刚度

0.3

0.3

N/µm±20%

  空载谐振频率

0.5

0.5

kHz±20%

  空载阶跃时间

10

2

ms±20%

  承载能力

0.2

0.2

Kg

  驱动性能

  静电容量

3.6

3.6

μF±20%

  其他

  工作温度范围**

-20~80

-20~80

°C

  材质

 

  外形尺寸(长×宽×高)

67.5×45×58

67.5×45×58

mm

  重量

250

250

g±5%

  出线长

1.5

1.5

m±10mm

  传感/电压连接器****

LEMO

LEMO

** 可定制低温版本及高真空版本。 

***取决于显微镜转接件。 

****连接器可定制。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 

注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

超分辨率显微成像

显微镜

提升显微成像精度

全自动细胞成像系统


笼式结构

超分辨率显微成像

显微镜

提升显微成像精度

全自动细胞成像系统


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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