P72.Z100 技术参数
型号:P72.Z100
运动自由度:Z
行程范围@120V:80μm
行程范围@150V:100μm
闭环传感器类型:SGS
闭/开环分辨率:5/2.5nm
闭环线性度:0.1%F.S.
闭环重复定位精度:0.05%F.S.
推/拉力:110/15N
运动方向刚度:1.4 N/μm
空载谐振频率:350Hz
闭/开环空载阶跃时间:10/3ms
承载能力:0.2kg
静电容量:3.6μF
材质:钢
重量:150g