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压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，偏转镜具有高的运动精度和稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P34系列大负载压电偏转镜是专为大直径镜片而设计，可加载直径达80mm的镜片，它的差分驱动在较大温度范围内表现出出色的角度定位稳定性。P34系列偏转镜允许顶部平台在具有共同枢轴点（并联运动）的两个正交轴上进行高动态精密偏转运动，多种镜片安装面可选，以获得对不同镜片材料的理想热适应。开环、闭环版本可供选择，所有版本都具有亚微弧度分辨率，且倾斜角度可达5.6mrad(等于光束偏转11.2mrad)。
产品特点
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运动方式 
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可负载大镜片 P34系列压电偏转镜可负载直径达80mm的镜片，实现11.2mrad的光束偏转。 
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偏转角度测量 P34系列压电偏转镜可负载直径达80mm的镜片，实现11.2mrad的光束偏转。 
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高稳定性、线性度及动态性、使用寿命长
芯明天压电俯仰/偏转镜系统是基于平行运动学设计，两个方向偏转运动共用同一个移动面。内部四个压电促动器是成对的差分控制，决定了平台俯仰/偏转运动。这使得P34压电倾斜镜在较大温差变化范围的环境中具有较好的角度定位稳定性。 |
驱动方式 P34压电偏转台θxθy两轴采用90。相差输入，通过控制电压的大小，对不同的光路距离，可进行一定范围的圆形范围扫描，如下右图所示。 
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定制底出线及镜持 
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P34.T1谐振频率与负载曲线 
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P34.T1线性度曲线 
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P34.T1角位移与电压曲线 
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定制方形腰部定位及侧出线 
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产品应用
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| 技术参数 ( 全闭环版本 ) | ||||||
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型号 |
P34.T1S P34.T1K |
P34.T2S P34.T2K |
P34.T4S P34.T4K |
单位 |
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运动方向 |
θx、θy |
θx、θy |
θx、θy |
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驱动控制 |
3 路驱动，2路传感 |
3 路驱动，2路传感 |
3 路驱动，2路传感 |
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标称偏转范围（0~120V） |
1.1 |
2.2 |
4.5 |
mrad±10% |
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Max.偏转范围（0~150V） |
1.4 |
2.8 |
5.6 |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
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分辨率 |
0.2/0.1 |
0.2/0.1 |
0.2/0.1 |
μrad |
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闭环线性度 |
0.1/- |
0.1/- |
0.1/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.02/- |
0.02/- |
0.02/- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
3.6 |
2.8 |
1.6 |
kHz±20% |
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静电容量 |
3.6/轴 |
7.2/轴 |
14.5/轴 |
μF±20% |
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材质 |
铝 |
铝 |
铝 |
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重量 |
380 |
500 |
800 |
g±5% |
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偏转台长度L |
38 |
56 |
92 |
mm±0.1 |
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注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。Max.驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
P34.T1S与E70.D3S环境试验报告
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封皮 
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试验结论 
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编制依据 
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振动试验功率谱密度 
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振动试验条件 
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应用案例
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跟踪、稳像 
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笼式结构 
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快速激光束偏转及扫描 
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变形镜 
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激光稳定系统 
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激光加工 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
