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S23 系列压电偏转镜 / 移相器为 θx、θy 偏转 / 俯仰及 Z 轴升降台，台体中心通孔，产品体积小巧、结构紧凑，可以实现的偏转范围为1.5mrad， Z 轴直线运动行程为 10μm，产品为开环版本，具有非常高的分辨率及响应速度，是干涉扫描移相的选。
产品特点
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运动方式 
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可配套镜片转接座 S23 压电偏转镜/移相器可选择配套镜片转接座方便镜片的安装与固定。 
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驱动控制 S23 压电偏转镜/移相器内部三支压电陶瓷促动器并联连接，提供顶部环在垂直方向的定位（活塞运动）时，只需一个驱动通道。 提供Z向升降/俯仰/偏转运动时，需三个驱动通道。 |
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开环、高动态性、中心通孔 S23 压电偏转镜/移相器为多轴俯仰升降台，产品体积为Ø20×19.5mm，可以实现θx, θy轴1.5mrad的偏转，Z轴10μm的升降，开环版本具有高的分辨率及快的响应速度，三角架结构设计具有宽的使用温度范围。 台体中心带有通孔孔径为Ø10mm，适用于需要透光的应用，如光过滤等。 |
产品测试 
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频率负载曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀K-开环 |
S23.Z10K |
S23.ZT1K |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
θx,θy,Z |
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驱动控制 |
1 路驱动 |
3 路驱动 |
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θx、θy 标称偏转角度（0~120V） |
- |
1.2（≈ 248秒） |
mrad±10% |
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Z 向直线标称行程（0~120V） |
8 |
8 |
μm±20% |
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θx、θy 偏转角度（0~150V） |
- |
1.5（≈ 309秒） |
mrad±10% |
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Z 向直线行程（0~150V） |
10 |
10 |
μm±20% |
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θx,θy偏转分辨率 |
- |
0.02（＜ 0.01 秒） |
µrad |
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Z向直线分辨率 |
0.08 |
0.08 |
nm |
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机械性能 |
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空载谐振频率 |
7.5 |
θx3.2/θy3.5/Z7.5 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
1.5 |
0.5 |
ms±20% |
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驱动性能 |
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静电容量 |
0.5 |
0.5 |
μF/轴±20% |
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其它 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢 |
钢 |
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重量 |
50 |
70 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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跟踪、稳像 
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笼式结构 
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快速激光束偏转及扫描 
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变形镜 
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激光稳定系统 
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激光加工 
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