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快速刀具定位器是为精密车削加工而研发设计的，利用自身所具有的高响应频率、高刚度、高精度等特性，驱动刀具在运动方向快速微进给运动，能够实现复杂面形工件或结构的精密加工。
产品特点
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采用大出力压电陶瓷 快速刀具定位台采用的压电陶瓷的出力是其他压电纳米定位台出力的几倍。 
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闭环分辨率高 不同于振动加工，刀具位置可以通过内置传感进行 反馈控制，实现纳米级分辨率。 
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定制微结构加工快刀定位台 
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防尘防液滴、高刚度 快速刀具定位器可进行防尘防液滴处理，使其能工作在湿度环境。 定位器台体材料采用不锈钢材质以加工过程中的稳定性，可以结构稳定可靠，加工精度不会因颤动而受影响。 |
谐振频率与负载曲线 
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位移与电压曲线 
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线性度曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | |||||
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型号 |
尾缀C、L-闭环 |
P93.X70C |
P93.X70L |
P93.X70K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X |
X |
X |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
65 |
65 |
65 |
µm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
81 |
81 |
81 |
µm±10% |
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传感器类型 |
CAP |
LVDT |
- |
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分辨率 |
2.5 |
10 |
1 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.05 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.03 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
<15 |
<15 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
400/50 |
400/50 |
400/50 |
N |
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运动方向刚度 |
5 |
5 |
5 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
0.15 |
0.15 |
0.15 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
10 |
10 |
7 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
20 |
20 |
20 |
Kg |
| 立式安装 | - | - | - | ||
| 倒置安装 | - | - | - | ||
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驱动性能 |
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静电容量 |
15 |
15 |
15 |
μF±20% |
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其他 |
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材质 |
钢 |
钢 |
钢 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
125×60×60 |
125×60×60 |
125×60×60 |
mm |
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重量 |
4000 |
4000 |
4000 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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推荐控制器
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应用案例
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快刀伺服超精密微加工系统 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
