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N63压电扫描台为二维XY轴扫描平台，一体式结构设计原理，压电陶瓷直驱机构，可实现8μm的扫描范围，台体高度仅为17mm，闭环版本具有高的定位精度，适用于显微扫描等应用。
产品特点
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外观形状 
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产品运动示意图 
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台体采用直驱式结构设计，出力大 
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一体式超薄结构、高分辨率、闭环精度高 N63压电扫描台为XY二维平移扫描台，平台采用柔性铰链导向压电陶瓷直驱的机构设计，具有无间隙、无后坐力、无摩擦等特点，使其具有高的分辨率达0.2nm。 可选择内置高性能传感器实现8×8μm范围内高的定位精度。
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频率负载曲线 
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压电陶瓷嵌套式一体结构 N63压电扫描台采用压电陶瓷直驱机构设计原理，嵌套式机构使其具有良好的动态性能。 
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平稳和准确的扫描圆形驱动 精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
N63.XY7S |
N63.XY7K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X、Y |
X、Y |
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运动和定位 |
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标称行程范围（0~120V） |
5 |
5 |
µm/轴±20% |
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行程范围（0~150V） |
8 |
8 |
µm/轴±20% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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通孔尺寸 |
Ø62 |
Ø62 |
mm |
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分辨率 |
0.6 |
0.2 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<5 |
<5 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
100/20 |
100/20 |
N |
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运动方向刚度 |
X1.5/Y1.5 |
X1.5/Y1.5 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
X0.35/Y0.24 |
X0.35/Y0.24 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
3 |
0.3 |
ms±20% |
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空载工作频率* |
10%行程 |
90 |
>90 |
Hz±20% |
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100%行程 |
30 |
>30 |
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承载能力 |
3 |
3 |
Kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
0.8 |
0.8 |
μF/轴±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
135.5×126.5×17 |
135.5×126.5×17 |
mm |
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重量 |
500 |
500 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
