型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

S37.T2SF

S37.T2KF

S37.T3SF

S37.T3KF

S37.T4SF

S37.T4KF

S37.T5SF

S37.T5KF

S37.T6SF

S37.T6KF

S37.T8SF

S37.T8KF

单位

运动自由度

θX，θY

θX，θY

θX，θY

θX，θY

θX，θY

θX，θY

驱动控制

3 路驱动，2路传感

3 路驱动，2路传感

3 路驱动，2路传感

3 路驱动，2路传感

3 路驱动，2路传感

3 路驱动，2路传感

标称偏转范围（0~120V）

2.5/±1.25

4/±2

5/±2.5

6.8/±3.4

7.5/±3.75

10/±5

mrad±10%

Max.偏转范围（0~150V）

3.5/±1.75

5.5/±2.75

6.8/±3.4

9.5/±4.75

10/±5

13.5/±6.75

mrad±10%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

闭/开环分辨率

0.08（≈0.02秒）/0.03（<0.01秒）

0.15（≈0.03秒）/0.04（<0.01秒）

0.2（≈0.04秒）/0.05（≈0.01秒）

0.25（≈0.05秒）/0.07（≈0.01秒）

0.25（≈0.05秒）/0.08（≈0.02秒）

0.35（≈0.07秒）/0.1（≈0.02秒）

μrad

闭环线性度

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.1/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

%F.S.

空载谐振频率

6.5

6.4

6.3

6.2

6.1

6

kHz±20%

静电容量

3.6

5.2

7.2

9

11

14.5

μF±20%

材质

不锈钢，钛合金

不锈钢，钛合金

不锈钢，钛合金

不锈钢，钛合金

不锈钢，钛合金

不锈钢，钛合金

重量

200

230

250

275

300

350

g±5%

偏摆台长度

37

46

55

64

73

91

mm±0.1

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