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P60.XYZ200压电纳米定位台是 XYZ 三维运动压电平台，它的行程范围可达 200μm/ 轴。
产品特点
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位移与电压曲线 
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线性度曲线 
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
P60.XYZ200S |
P60.XYZ200K |
单位 |
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运动方向 |
XYZ |
XYZ |
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驱动控制 |
4路驱动，3路传感 |
4路驱动 |
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标称行程范围（0 ~120 V） |
160 |
160 |
µm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
200 |
200 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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闭/开环分辨率 |
5.5 |
2 |
nm |
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闭环线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
270 |
270 |
Hz±20% |
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加载100g负载谐振频率 |
110 |
110 |
Hz±20% |
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50%行程空载使用频率 |
20 |
20 |
Hz±20% |
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静电容量 |
14/14/7.2 |
14/14/7.2 |
μF±20% |
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台体材料 |
铝 |
铝 |
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工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
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承载能力 |
水平安装 |
0.3 |
0.3 |
kg |
| 立式安装 | 0.1 | 0.1 | ||
| 倒置安装 | 0.1 | 0.1 | ||
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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