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产品特点
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| 技术参数 | |||
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型号 |
P11.XY200Z300S P11.XY200Z300K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
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驱动源 |
压电堆栈 |
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标称行程范围（0 ~+120 V） |
X130/Y130/Z250 |
μm±10% |
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Max.行程范围（0~+150 V） |
X180/Y180/Z300 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
XY：4.5/1.5，Z:8.5/2.5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.4/- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
X200/Y180/Z200 |
Hz±20% |
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闭环工作频率（-3dB） |
40（负载50g）/- |
Hz±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
0.2 |
kg |
| 立式安装 | 0.03 | ||
| 倒置安装 | 0.05 | ||
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静电容量 |
X2.2/Y2.2/Z7 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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