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P65系列高分辨率压电纳米定位台是以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构可实现X轴、Y轴和Z轴三维精密运动的压电平台，驱动形式为放大机构式驱动。内置高性能压电陶瓷，可实现XY200μm、Z50μm的位移。开/闭环版本可供选择，真空版本可定制，更大行程版本可定制。闭环定位精度可达XY0.017%F.S.、Z0.006%F.S.，非常适合高精度定位应用。
产品特点
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
P65.XY200Z50S
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P65.XY200Z50K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
8路驱动，8路传感 |
8路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
XY160/Z40 |
XY160/Z40 |
μm±10% |
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Max.行程范围上限（0~150V） |
XY200/Z50 |
XY200/Z50 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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分辨率 |
XY3/Z2 |
XY1/Z0.6 |
nm |
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闭环线性度 |
XY0.015/Z0.007 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
XY0.017/Z0.006 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
＜10 |
＜10 |
μrad |
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空载谐振频率 |
X260/Y220/Z280 |
X260/Y220/Z280 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@500g |
150 |
150 |
Hz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
100@500g |
10 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 | 1 |
1 |
kg |
| 立式安装 | 0.1 | 0.1 | ||
| 倒置安装 | 0.2 | 0.2 | ||
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静电容量 |
XY13.6/Z3.2 |
XY13.6/Z3.2 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
1.24 |
1.24 |
kg±5% |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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