型号

尾辍S-闭环

尾辍K-开环

P84.X100S

P84.X100K

P84.X250S

P84.X250K

单位

运动自由度

X

X

行程范围（粗调+精调）

13mm+100µm

13mm+250μm

壳体材料

钢、铝

钢、铝

粗调行程范围

13

13

mm

粗调分辨率

10

10

µm

驱动方式

螺纹副（分厘卡）

螺纹副（分厘卡）

灵敏度

<2

<2

µm

最小读数

10

10

µm/格

螺距

0.5

0.5

mm/rev.

精调行程范围

0~120 V

80

200

µm±20%

0~150 V

100

250

µm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

最小步进（分辨率）

3/1

7/2

nm, typ.

闭环线性度

0.1/-

0.1/-

%F.S.

重复定位精度

0.05/-

0.05/-

%F.S.

运动方向推力

16

8

N

运动方向的刚度

1

0.03

N/µm±20%

空载谐振频率

380

210

Hz±20%

承载能力（Z向）

500

200

g

工作温度范围

-20~80

-20~80

°C

静电容量

1.8

7.2

µF±20%

重量

100

-

g±5%

出线长

1.5

1.5

m±10mm

传感/电压连接器

LEMO

LEMO