新闻动态当前位置：产品首页 >> 新闻动态>> 展会/新品/应用

真空多维运动压电马达位移台

更新时间：2025-03-27 13:09:23点击次数：1190次
在科技飞速发展的今天，精密运动控制领域不断迎来创新突破。压电产品作为精密运动的主力军，以其独特的工作原理和卓越性能，正逐渐在众多领域崭露头角。今天，我们要为大家介绍的是一款多维真空压电马达——F21.N2E。

图片

F21.N2E是一款二维运动压电马达，可进行X向直线运动和θx偏摆运动。X轴直线行程可达10mm，分辨率可达5nm，速度可达3mm/s，重复定位精度可达0.1μm；θx偏摆行程可达10°，分辨率可达1μrad，速度可达3°/s，重复定位精度达0.001°。可负载600g样品进行运动，外观结构设计紧凑，体积小巧，适用于各种高精度应用领域。

图片

产品特点

X、θx二维运动
行程大
响应速度快
闭环分辨率高
真空兼容

典型应用


半导体：扫描电镜（SEM）样品操纵、原子力显微镜、大范围电子束直写（EBL）、光刻机、晶圆加工与检测、探针台等。

图片
注：图片来源于网络

光学：激光通讯、激光加工、天文望远镜、光路调整、激光稳定、光纤对准、光学测试系统等。

图片
注：图片来源于网络

生物与医疗：超分辨成像样品移动、显微及纳米CT、细胞穿透、微计量配药等。

图片
注：图片来源于网络
，赞

芯明天多维度压电马达

图片

技术参数


型号
F21.N2E
运动自由度
X、θx
传感器
光栅传感器
θx偏摆部分
运动自由度
θx
速度上限
3°/s
行程范围
10° 或±5°
分辨率
1μrad
线性度
0.01°
重复定位精度
0.001°
直线运动部分
运动自由度
X
速度上限
3mm/s
行程范围
10mm或±5mm
分辨率
5nm
线性度
0.8μm
重复定位精度
0.1μm
整体
承载能力
600g
工作温度范围
0~40°C
重量
200g（不含线及连接器）
台体材料
钢、铝
出线长
0.7m
连接器
DB15公座×2

配套控制器


由芯明天研发生产的E53.D1E-J压电控制器非常适用于驱动F21.N2E系列压电马达，它是单通道压电控制器，采用数字控制，24VDC供电，静态功耗小于5W，通信接口为TYPE-C、RS-422、RS-232操作便捷，尺寸仅105×103×30.1mm^3，外观体积小巧，结构紧凑，易于集成。

图片

更多详情欢迎致电芯明天0451-86268790、17051647888（微信同号）！


产品首页| 产品应用|服务中心|新闻动态|关于芯明天|联系我们

微信公众平台

扫一扫， 获取芯明天更多信息

地址：黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层

电话：0451-86268790

压电 · 纳米 · 运动

Copyright @ 版权所有 哈尔滨芯明天科技有限公司 黑ICP备16009173号-1 纳米定位 纳米定位工作台 压电陶瓷控制器 压电陶瓷驱动电源 压电陶瓷