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多维高精度定位解决方案 | H64A.XYZTR2S/K-C系列压电纳米偏摆台

更新时间：2025-04-10 10:21:09点击次数：475次
当科技的探索深入微观世界，越来越多的科学领域对精密定位都有着极致需求，如激光加工确保光束纳米级稳定聚焦、在半导体检测中实现晶圆精准对位、在生物医疗进行超分辨率显微成像等，这些应用场景都有着同样的核心需求——多自由度、高精度、快速响应的精密运动。H64A.XYZTR2S/K-C系列压电纳米偏摆台为六自由度运动高精度压电偏摆台，利用压电驱动技术，为光学、半导体、生物医疗、微纳制造等领域提供纳米级精密运动解决方案。

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H64A.XYZTR2S/K-C压电纳米偏摆台





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H64A.XYZTR2S/K-C系列是X、Y、Z、θx、θy、θz六轴运动压电纳米定位台，可产生六轴的超精密运动，适用于静态定位和动态调姿。该定位台内部采用并联机构设计，可实现更好动态性。其内置高性能压电陶瓷，可实现X±9/Y±9.5/Z155μm的直线位移和θxθy±1.1/θz±1mrad的偏转角度。闭环版本全桥设计避免了温度的漂移，确保了纳米级定位精度。

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产品特点

六维 X、Y、Z、θx、θy、θz轴运动
直线行程：X±9/Y±9.5/Z155μm
偏转行程：θxθy±1.1/θz±1mrad
闭环定位精度高
承载可达12kg
内部采用并联机构，可实现更好动态性

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典型应用

1.晶圆调姿：可通过压电偏摆台各维度的精密定位将晶圆调整到正确位姿，以满足对晶圆进行各类工艺操作，在晶圆加工、晶圆检测和光刻等技术中广泛应用，且在应用中起到至关重要的作用，对芯片的制造质量和性能有直接影响。

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注：图片来源于网络

2.模拟空间扰动：空间扰动模拟是用于模拟物理系统中的空间扰动现象。它可以用来研究流体力学、热力学、电磁学等领域中的现象，如湍流、热对流、电磁波传播等。压电偏摆旋转台可以模拟空间中的微小扰动，如微小振动、微小旋转等，以便测试和验证部件的姿态，控制系统的性能。

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注：图片来源于网络

3.激光通信：在激光通信中，无论是地面站与地面站之间，还是地面站与卫星、飞机等移动平台之间的通信，确保发射端与接收端的激光束精确对准是实现高效通信的基础。六自由度压电偏摆台凭借其精准操控能力，能够对激光发射与接收装置进行纳米级的位置与角度调整。

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注：图片来源于网络

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技术参数

型号
H64A.XYZTR2S/K-C
运动自由度
X、Y、Z、θx、θy、θz
驱动控制器
6路驱动，6路传感；6路驱动
XYZ标称行程范围
(0~120V)
X±7μm/Y±7.5μm/Z125μm
XYZ行程范围(0~150V)
X±9μm/Y±9.5μm/Z155μm
θxθyθz标称偏转角度(0~120V)
θxθy±0.9mrad（≈±186秒）/θz±0.8mrad（≈±165秒）
θxθyθz偏转角度(0~150V)
θxrθy±1.1mrad（≈±227秒）/θz±1mrad（≈±206秒）
传感器
SGS/-
闭/开环直线分辨率
X0.56nm/Y0.61nm/Z5nm；XY0.2nm/Z1.5nm
闭/开环偏转分辨率
θxθy0.08μad/θz0.07μrad（≈0.015秒）；
0.025μrad（＜0.01秒）
闭环重复定位精度
XY0.04%F.S./Z0.02%F.S./θxθyθz0.02%F.S.
空载谐振频率
X562Hz/Y630Hz/Z338Hz/θz380Hz
带载谐振频率@10kg
X220Hz/Y210Hz/Z109Hz/θz112Hz
承载能力
12kg
静电容量
XY7.2μF/θxθyZ21.6μF/θz50μF
闭环阶跃时间
40ms@1Hz，1/10幅值
材质
不锈钢、铝合金
重量
6.45kg（不含线）
连接器
DB15公头×1+DB15母头×1

配套控制器





E00.D6K04机箱式压电控制器适用于驱动H64A.XYZTR2S/K-C系列六自由度压电偏摆台。此款压电控制器具有6个输出通道，输出电压0~150V，带宽可达10kHz，可通过模拟或数字信号进行控制，可通过RS-422串口进行上位机通信。
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E00.D6K04压电控制器前、后面板

更多详情欢迎致电芯明天0451-86268790、17051647888（微信同号）！


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