特点
• 二维XY向运动
• 行程达100μm/轴
• 承载力达500g
• 超薄尺寸
• 可安装真空吸盘
应用
• 表面检测
• 显微成像
• 激光技术
• 半导体加工与测试
大通孔 快速聚焦
表面绝缘压电陶瓷提供长使用寿命
电压位移曲线
线性度曲线
技术参数
型号:P15.XY100S/K65-B1
运动自由度:XY
行程范围(0~120V):80μm/轴
行程范围(0~150V):100μm/轴
闭环传感器:SGS
通孔尺寸:55×65mm
闭/开环分辨率:10/5nm
闭环线性度:0.15%F.S.
闭环重复定位精度:0.05%F.S.
俯仰/滚动/偏航:≤10μrad
空载谐振频率:490Hz
闭/开环空载阶跃时间:50/20ms
承载能力:500g
静电容量:14.5μF
台体材料:铝
电缆长度:1.5m