产品特点
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产品组成及运动方向 ![]() |
产品运动示意图 ![]() |
可装配多种品牌、尺寸的物镜 ![]() |
产品应用
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技术参数 | ||||
型号 |
尾缀S-闭环 |
P72.Z80S |
P72.Z80K |
单位 |
尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动,1路传感 | 1路驱动 |
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标称行程范围(0~120V) |
64 |
64 |
µm±10% |
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Max.行程范围(0~150V) |
80 |
80 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
3 |
1 |
nm,typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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机械性能 |
||||
运动方向推/拉力 |
160/20 |
160/20 |
N |
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运动方向刚度 |
2 |
2 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
700 |
700 |
Hz±20% |
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带载谐振频率 |
300@400g |
300@400g |
Hz±20% |
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空载阶跃时间 |
7 |
2.5 |
ms±20% |
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闭环工作频率(-3dB) |
- |
- |
Hz±20% |
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承载能力 |
0.4 |
0.4 |
Kg |
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静电容量 |
14 |
14 |
μF±20% |
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材质 |
钢 |
钢 |
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重量 |
360(不含线) |
360(不含线) |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,MAX.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
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应用案例
笼式结构 ![]() |
超分辨率显微成像 ![]() |
显微镜 ![]() |
提升显微成像精度 ![]() |
全自动细胞成像系统 ![]() |