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P72.Z80 压电物镜定位器
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产品特点


 Z向运动,行程80μm

 承载0.4kg

 毫秒级响应时间

 闭环重复定位精度高

 开环、闭环可选

 

 

 


产品组成及运动方向

产品运动示意图

可装配多种品牌、尺寸的物镜


产品应用


 三维成像

 干涉 / 计量

 表面结构分析

 共焦显微

 生物科技

 半导体测试

 


    技术参数

型号

尾缀S-闭环

P72.Z80S

P72.Z80K

单位

尾缀K-开环

  运动自由度

Z

Z

 

  驱动控制

1路驱动,1路传感 1路驱动

  标称行程范围(0~120V)

64

64

µm±10%

  行程范围(0~150V)

80

80

µm±10%

  传感器类型

SGS

-

 

  分辨率

3

1

nm,typ.

  闭环线性度

0.1

-

%F.S.

  闭环重复定位精度

0.05

-

%F.S.

  机械性能

  运动方向推/拉力

160/20

160/20

N

  运动方向刚度

2

2

N/µm±20%

  空载谐振频率

700

700

Hz±20%

  带载谐振频率

300@400g

300@400g

Hz±20%

 空载阶跃时间

7

2.5

ms±20%

 闭环工作频率(-3dB)

-

-

Hz±20%

  承载能力

0.4

0.4

Kg

  静电容量

14

14

μF±20%

  材质

 

  重量

360(不含线)

360(不含线)

g±5%

  出线长

1.5

1.5

m±10mm

    注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,MAX.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

超分辨率显微成像

显微镜

提升显微成像精度

全自动细胞成像系统


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    经销商 最终用户
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    企业 高校 研究所
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