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压电物镜定位器
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XD730.100系列压电物镜定位器是专为大负载、百微米行程设计的一款Z向运动的物镜驱动平台,它的行程可达100μm,承载能力达0.5kg,非常适于物镜纳米级运动控制。


产品特点


 Z 向运动

 行程达100μm

 承载达0.5kg

 可选配闭环传感器

 可定制





产品应用


 聚焦显微

 精密激光加工

 Z 向定位与扫描

 表面结构分析

 干涉 / 计量

 半导体测试


 

    技术参数

型号

XD730.100S

XD730.100K

单位

运动方向

Z

Z

 

驱动控制

1路驱动,1路传感

1路驱动


标称行程范围(0~120V)

80

80

μm±10%

行程范围(0~150V)

100

100

μm±10%

传感器类型

SGS

-

 

分辨率

<10

1

nm

闭环线性度

0.06

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.01

-

%F.S.

空载谐振频率

450

450

Hz±20%

闭/开环阶跃响应时间

30

2

Hz±20%

静电容量

6.8

6.8

μF±10%

承载能力

0.5

0.5

kg

台体材料

铝、钢

铝、钢


重量

190

190

g±5%

      注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得。最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
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    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

超分辨率显微成像

显微镜

提升显微成像精度

全自动细胞成像系统


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    经销商 最终用户
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    企业 高校 研究所
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