XD730.500 压电物镜定位器是一款大承载力、大行程、高精度的压电物镜定位器,适用于各种光学显微应用。
产品特点
Z 向运动 |
大承载力 |
大行程 |
高精度 |
可选配闭环传感器 |
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产品应用
聚焦显微 |
激光加工 |
Z 向定位与扫描 |
表面结构分析 |
技术参数 | |||
型号 |
XD730.500S |
XD730.500K |
单位 |
运动方向 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动,一路传感 |
1路驱动 |
μm±10% |
标称行程范围(0~120V) |
400 |
400 |
μm±10% |
行程范围(0~150V) |
500 |
500 |
μm±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
17 |
5 |
nm |
闭环线性度 |
0.12 |
- |
%F.S. |
闭环重复定位精度
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0.03 |
- |
%F.S. |
空载谐振频率 |
310 |
310 |
Hz±20% |
带载谐振频率@500g |
155 |
155 |
Hz±20% |
静电容量 |
30 |
30 |
μF±10% |
承载能力 |
0.5 |
0.5 |
kg |
台体材料 |
铝、钢 |
铝、钢 |
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重量 |
590 |
590 |
g±5% |
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得。最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
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应用案例
笼式结构 |
超分辨率显微成像 |
显微镜 |
提升显微成像精度 |
全自动细胞成像系统 |