ZT35H80K 系列压电陶瓷移相器的内部是由压电陶瓷管驱动,它由
直流电压信号来控制,在 150V 电压下产生的位移约 0.7µm,可用于快
速步进移相应用。压电陶瓷移相器的驱动电压上限为 800V,在此电压下,
产生的位移约 3.73µm。
该压电移相器是专为像移应用而设计,可通过电压控制进行超快速
(µs 级)步进调节,同时,可通过手动调节 θx、θy 两轴的偏转角度,
角度调节范围可达 ±4°。将镜片调节与像移步进相结合,使其更方便于
像移、干涉测量等应用。
产品特点
手动与电压调节相结合 |
150V 电压驱动下,移相行程约 0.7µm |
驱动电压上限为 800V |
移相行程上限可达 3.73µm |
可手动调节 θx、θy 两轴偏转角度 |
手动调节角度范围为 0~±4° / 轴 |
标准可带载镜片直径为 35mm,可定制 |
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压电驱动的电压与位移曲线 |
产品应用
快速纳米级步进 |
移相 |
光路调节 |
干涉测量 |
快速步进调节 |
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芯明天可提供各种用于移相、步进、干涉、计量等的压电式移相器,例如超小体积型、带有通光孔型、大负载型、大口径式等,可完 全根据客户的实际应用定制设计。
技术参数 | |||
型号 |
ZT35H80K |
单位 |
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运动自由度 |
压电驱动 |
X |
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手调 |
θx θy |
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压电直线行程 |
0.7@150V |
μm±20% |
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3.73@800V |
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手调θx θy偏转角度 |
±4 |
°/轴 |
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空载谐振频率 |
47.8 |
kHz±20% |
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静电容量 |
48 |
nF±20% |
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标准可安装镜片直径 |
Φ35(或1英寸,可定制) |
mm |
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最大驱动电压 |
0~800 |
V |
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重量 |
175 |
g±5% |
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