产品特点
空载谐振频率2000Hz
静电容量
承载能力达 700g
分辨率可达 8nm
运动自由度
θx θy
最大偏摆角度（0~100V）
±4mrad±20%
闭环方式
SGS
空载谐振频率
2000Hz±20%
谐振频率（带载φ12×8镜片）
1450Hz±20%
3.6/轴μF±20%
使用频率/行程
1000Hz/±0.4mrad、600Hz/±0.9mrad，±20%
材质
钛合金
震动冲击试验
＞10g
应用案例
跟踪、稳像
笼式结构
快速激光束偏转及扫描
变形镜
激光稳定系统
激光加工
