型号

尾缀 S- 闭环
尾缀 K- 开环

S30.T2SF
S30.T2KF

S30.T2SY
S30.T2KY

S30.T1KY

单位

运动自由度

θx、θy

θx、θy

θx、θy

驱动控制

3路驱动，2路传感

3路驱动，2路传感

3路驱动

传感器

SGS/-

SGS/-

-

标称行程范围（0~120V）

3或±1.5

（≈±309秒）

3或±1.5

（≈±309秒）

1.5或±0.75

（≈±154 秒）

mrad±10%

分辨率

0.1（≈0.02秒）/
0.03（<0.01秒）

0.1（≈0.02秒）/
0.03（<0.01秒）

0.02（<0.01秒）

μrad

空载谐振频率

17

15

15

kHz±20%

谐振频率@Ø12.5×3mm镜片

14

10

10

kHz±20%

线性度

0.2/-

0.2/-

-

%F.S.

重复定位精度

0.1/-

0.1/-

-

%F.S.

枢轴点至平台表面距离

4.2

4.2

4.2

mm±0.2mm

静电容量

1.6/轴

1.6/轴

0.7/轴

μF±10%

材料

钛合金、钢

钛合金、钢

钛合金、钢

重量（不含线）

35

30

20

g±5%