S30系列为二维θx、θy小体积压电偏转镜,是专为高动态应用而设计,空载谐振频率可达15kHz。
产品特点
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技术参数 | |||||
型号 |
尾缀 S- 闭环 |
S30.T2SF |
S30.T2SY |
S30.T1KY |
单位 |
运动自由度 |
θx、θy |
θx、θy |
θx、θy |
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驱动控制 |
3路驱动,2路传感 |
3路驱动,2路传感 |
3路驱动 |
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传感器 |
SGS/- |
SGS/- |
- |
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标称行程范围(0~120V) |
3或±1.5 (≈±309秒) |
3或±1.5 (≈±309秒) |
1.5或±0.75 (≈±154 秒) |
mrad±10% |
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分辨率 |
0.1(≈0.02秒)/ |
0.1(≈0.02秒)/ |
0.02(<0.01秒) |
μrad |
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空载谐振频率 |
15 |
15 |
15 |
kHz±20% |
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谐振频率@Ø12.5×3mm镜片 |
10 |
10 |
10 |
kHz±20% |
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线性度 |
0.2/- |
0.2/- |
- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.1/- |
0.1/- |
- |
%F.S. |
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枢轴点至平台表面距离 |
4.2 |
4.2 |
4.2 |
mm±0.2mm |
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静电容量 |
1.6/轴 |
1.6/轴 |
0.7/轴 |
μF±10% |
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材料 |
钛合金、钢 |
钛合金、钢 |
钛合金、钢 |
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重量(不含线) |
35 |
30 |
20 |
g±5% |
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应用案例
跟踪、稳像 ![]() |
笼式结构 ![]() |
快速激光束偏转及扫描 ![]() |
变形镜 ![]() |
激光稳定系统 ![]() |
激光加工 ![]() |