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S23.ZT0S/K25系列小体积压电偏转镜为θx、θy偏摆及Z轴运动的偏转镜，其体积为Ø49×34mm，可以实现θx、θy轴±0.5mrad/轴的偏转，Z轴20.5μm的直线行程。开环版本具有非常高的分辨率及亚毫秒的响应速度，台体中心带有Ø25.4mm通孔，适用于透光应用，如光过滤等。
产品特点
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 空载谐振频率达4.2kHz
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产品应用
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光束稳定
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移相器
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推荐控制器 
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环
尾缀K-开环
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S23.ZT0S25
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S23.ZT0K25
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单位 |
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运动自由度 |
θx、θy、Z |
θx、θy、Z |
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驱动控制 |
3 路驱动，3路传感 |
3 路驱动 |
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| 标称直线行程范围（0~120V） | 16.5 | 16.5 |
μm±10% |
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Max.直线行程范围（0~150V） |
20.5 | 20.5 |
μm±10% |
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标称偏转角度（0~120V） |
±0.4/轴（≈±82秒） |
±0.4/轴（≈±82秒） |
mrad±10% |
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Max.偏转角度（0~150V） |
±0.5/轴（≈±103秒） |
±0.5/轴（≈±103秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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| 通孔 |
Ø25.4 |
Ø25.4 |
mm | |
| 直线分辨率 | 1 | 0.5 | nm | |
| 偏摆分辨率 |
0.03（<0.01 秒） |
0.01（<0.01 秒） |
μrad |
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闭环线性度 |
θx0.05/θy0.12/Z0.2 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
θx0.03/θy0.06/Z0.17 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
4.2 |
4.2 |
kHz±20% |
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带载谐振频率@50g |
θxθy3.7/Z2.3 |
θxθy3.7/Z2.3 |
kHz±20% |
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| 承载能力 | 50 | 50 | g | |
| 静电容量 | 2/轴 |
2/轴 |
μF±20% |
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| 阶跃时间 |
10@50g，满幅值 |
4 |
ms±20% |
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材质 |
钢 |
钢 |
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| 出线长 | 1.5 | 1.5 | m±0mm | |
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重量（不含线） |
250 |
250 |
g±5% |
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应用案例
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跟踪、稳像 
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笼式结构 
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快速激光束偏转及扫描 
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变形镜 
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激光稳定系统 
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激光加工 
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