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S23A系列大负载压电快反镜/偏转镜为θx、θy偏转/俯仰及Z轴直线运动的平台，可带载φ130mm大型镜片（重量达680g）实现高精度运动。其偏转范围可达0.17mrad，直线行程可达9.4μm。其内部由三组压电陶瓷促动器并联连接，配套芯明天三通道压电控制器实现θx、θy偏转/俯仰及Z轴直线运动。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
S23A.ZT0S-A
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S23A.ZT0K-A
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单位 |
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运动自由度 |
θx、θy、Z |
θx、θy、Z |
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驱动控制 |
3 路驱动，3路传感 |
3 路驱动 |
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标称偏转角度（0~120V） |
±0.06（≈±12秒）/±0.07（≈±14.5秒） |
±0.06（≈±12秒）/±0.07（≈±14.5秒） |
mrad±10% |
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Max.偏转角度（0~150V） |
±0.075（≈±15.5秒）/±0.085（≈±17.5秒） |
±0.075（≈±15.5秒）/±0.085（≈±17.5秒） |
mrad±10% |
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标称直线行程范围（0~120V） |
7.5 | 7.5 |
μm±10% |
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Max.直线行程范围（0~150V） |
9.4 | 9.4 |
μm±10% |
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闭 / 开环偏转分辨率 |
6（＜0.01秒） |
2（＜0.01秒） |
nrad |
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闭/开环直线分辨率 |
0.3 | 0.1 | nm |
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传感器类型 |
SGS |
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| 线性度 |
θx0.15/θy0.13/Z0.25 |
- |
%F.S. |
| 重复定位精度 |
θx0.22/θy0.14/Z0.25 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
325/800/600 |
325/800/600 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@680g
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275/585/425 |
275/585/425 |
Hz±20% |
| 阶跃时间 |
20@680g |
8 |
ms±20% |
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静电容量 |
1.6/ 轴 |
1.6/ 轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝合金 |
钢、铝合金 |
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重量（包含线及连接器） |
2.5 |
2.5 |
kg±5% |
应用案例
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跟踪、稳像 
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笼式结构 
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快速激光束偏转及扫描 
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变形镜 
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激光稳定系统 
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激光加工 
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